[发明专利]一种多孔氧化铝膜层及其制备方法在审
申请号: | 201611243729.7 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN108251877A | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 李帅;张超;吕琴丽;何迪;张华;王树茂;刘晓鹏;蒋利军 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院 |
主分类号: | C25D11/12 | 分类号: | C25D11/12;C25D11/08;C25F3/20;C25D11/16 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘秀青;熊国裕 |
地址: | 100088 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种多孔氧化铝膜层及其制备方法。该多孔氧化铝膜层的孔径范围为5‑100nm,厚度为5‑100μm。其制备方法包括以下步骤:(1)采用物理气相沉积方法在多孔金属基材表面沉积铝膜;(2)对铝膜进行气氛退火处理;(3)对退火后的铝膜进行表面清洗和电化学抛光;(4)利用阳极氧化法对铝膜进行处理,获得多孔氧化铝膜。采用本发明的方法制备的多孔氧化铝膜层具有膜层孔径可控的特点,膜层内具有规则有序分布的垂直纳米通孔。 | ||
搜索关键词: | 多孔氧化铝膜 铝膜 制备 膜层 退火 多孔金属基材 物理气相沉积 电化学抛光 阳极氧化法 表面沉积 表面清洗 退火处理 可控的 通孔 垂直 | ||
【主权项】:
1.一种多孔氧化铝膜层,其特征在于,该多孔氧化铝膜层的孔径范围为5‑100nm,厚度为5‑100μm。
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