[发明专利]四丙基溴化胺无水剥离液在审
| 申请号： | 201611227553.6 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN106773563A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王建荣 | 申请（专利权）人： | 昆山欣谷微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及四丙基溴化胺无水剥离液，主要由四丙基溴化胺、氧化银、没食子酸丙酯、有机溶剂组成，其中，各组份之间的比例为四丙基溴化胺氧化银没食子酸丙酯有机溶剂=3～73117。有机溶剂为两种有机溶剂混合组成。有机溶剂为二甲基亚砜与二乙二醇丁醚混合而成。其中，四丙基溴化胺无水剥离液的制备方法包括以下步骤1、制备四丙基溴化胺、氧化银混合溶液；2、添加没食子酸丙酯制备半成品溶液；3、将步骤2中的半成品溶液与其它有机溶剂混合，通风搅拌30分钟；4、将步骤3中的混合溶液经过0.2μm过滤。四丙基溴化胺无水剥离液的使用温度为40℃～60℃。 | ||
| 搜索关键词： | 丙基 溴化胺 无水 剥离 | ||
【主权项】：
四丙基溴化胺无水剥离液，主要由四丙基溴化胺、没食子酸丙酯、氧化银、有机溶剂组成，其中，各组份之间的重量比例为四丙基溴化胺：没食子酸丙酯：氧化银：有机溶剂=3～7：3：1：17。
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