[发明专利]一种磁电子器件校准装置

摘要

本发明公开了一种磁电子器件校准装置，属于磁电子器件校准技术领域，它包括磁场线圈、控制柜、液氮灌、无磁真空高低温管及无磁调节组件；磁场线圈安装在无磁调节组件上；通过工控机内设有的控制软件控制恒流源对磁场线圈进行供电，使得磁场线圈的内部空间形成的测量磁场与设定磁场相同；无磁真空高低温管同轴安装在磁场线圈的内部空间，其进气口通过气路分别与控制柜内的杜瓦瓶和液氮灌连接，控制柜内的加热器安装在所述气路上，实现在无磁真空高低温管的内部空间复现设定幅值的恒定高/低温环境；本发明能够复现‑70℃～+170℃的恒定温度环境、0.1mT～20mT的恒定磁场环境，并在设定空间内实现温度环境及磁场环境的均匀复合。

主权项

一种磁电子器件校准装置，其特征在于，包括：磁场线圈(1)、控制柜(5)、液氮灌(2)、无磁真空高低温管(3)及无磁调节组件(4)；所述磁场线圈(1)采用加莱特厚壁磁场线圈；所述控制柜(5)内设有恒流源、电流采集模块、工控机、杜瓦瓶、加热器、真空泵、温控表、温度巡检仪及真空计；所述无磁真空高低温管(3)通过来自控制柜(5)的杜瓦瓶的高/低温氮气的热辐射及热传导来间接改变无磁真空高低温管(3)内安装的被测的磁电子器件所在空间的环境温度；所述无磁调节组件(4)用于磁场线圈(1)和无磁真空高低温管(3)的位置调节，所述位置调节包括沿磁场线圈(1)的轴向移动、在水平面上的偏转及沿竖直方向的俯仰；整体连接关系如下：磁场线圈(1)安装在无磁调节组件(4)上；磁场线圈(1)通过电缆分别与控制柜(5)内的恒流源、电流采集模块及工控机连接，通过工控机内设有的控制软件控制恒流源对磁场线圈(1)进行供电，通过电流采集模块监测流入磁场线圈(1)中的电流幅值，并通过调节恒流源对磁场线圈(1)的供电，使得磁场线圈(1)的内部空间形成的测量磁场与设定磁场相同；无磁真空高低温管(3)同轴安装在磁场线圈(1)的内部空间，所述无磁真空高低温管(3)的两端分别设有进气口和出气口，其出气口与外部大气相通，其进气口通过气路分别与控制柜(5)内的杜瓦瓶和液氮灌(2)连接，且所述杜瓦瓶与液氮灌(2)连接，控制柜(5)内的加热器安装在所述气路上，通过加热器对流入无磁真空高低温管(3)内的氮气进行加热；控制柜(5)内的温度巡检仪通过电缆与无磁真空高低温管(3)电气连接，并对流入无磁真空高低温管(3)内的气体温度进行监测的温度值发送给工控机，工控机内设的控制软件依据接收到的温度值通过控制温控表对加热器的加热温度进行控制调节，实现在无磁真空高低温管(3)的内部空间复现设定幅值的恒定高/低温环境。