[发明专利]CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法

摘要

一种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构及使用方法,该结构包括驱动单元以及与驱动单元呈套接组合的驱动轴单元。驱动单元包括电机+减速器、电机座、直通接头和固定套。驱动轴单元包括驱动轴、压簧、锁钉和定心卡套。驱动轴前部穿入定心卡套内，定心卡套与驱动轴呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴后部穿入驱动单元的固定套和电机座内，并与电机+减速器的输出轴串接一体并锁定。本发明直接将伸缩式定心卡接功能与驱动单元融合，结构紧凑简练，方便卡接。驱动轴单元的四方匀性力传递及轴向滑动，可明显提升其卡接同心度。驱动单元引入气阻隔离功能确保了密封性。由上述几种措施的综合优势可有效便捷对清洗刷进行伸缩式定心卡接。

主权项

1.一种CMP后清洗设备清洗刷驱动轴结构，其特征在于：包括驱动单元（1）以及与驱动单元（1）呈套接组合的驱动轴单元（2）；所述驱动单元（1）包括电机+减速器（3）、电机座（4）、直通接头（5）和固定套（6）；所述固定套（6）后部与电机座（4）前部呈孔轴定位方式套接，电机座（4）后部与电机+减速器（3）呈孔轴定位方式贴合，所述直通接头（5）与电机座（4）侧面呈螺纹方式旋接，直通接头（5）引入大气并与电机座（4）内腔相连通；所述驱动轴单元（2）包括驱动轴（7）、压簧（8）、锁钉（9）和定心卡套（10），驱动轴（7）前部穿入定心卡套（10）内，定心卡套（10）与驱动轴（7）呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴（7）后部穿入驱动单元（1）的固定套（6）和电机座（4）内，并与电机+减速器（3）的输出轴串接一体并锁定；所述驱动轴（7）前部为方形滑轴（7.1），驱动轴（7）后部为与电机+减速器的输出轴连接的主轴（7.3），在方形滑轴（7.1）与主轴（7.3）之间带有开口朝前的压簧环槽（7.2）；所述定心卡套（10）由前到后设有与清洗刷定心的锥形孔（10.1）、与清洗刷滑动串接的方形孔a（10.2）、与方形滑轴（7.1）滑动串接的方形孔b（10.3）；所述压簧（8）套于驱动轴（7）上，压簧（8）后部定位于驱动轴（7）的压簧环槽（7.2）内，压簧（8）前部定位于定心卡套（10）上；所述锁钉（9）与方形滑轴（7.1）前端呈螺纹方式旋紧，锁钉（9）头部在定心卡套（10）的方形孔b（10.3）前方限位卡紧，使压簧的预紧力被施加。