[发明专利]晶圆级红外焦平面参数测试系统

摘要

本发明公开了一种晶圆级红外焦平面参数测试系统，主要包括真空腔、黑体辐射源、探针卡、载片台、偏置电压模块、脉冲发生模块、信号采集和处理模块以及计算机。该系统通过提供真空环境，黑体辐射激励，直流电压偏置和脉冲信号激励以及探针卡微损接触等方式，模拟红外焦平面芯片真空封装后的工作环境，对红外焦平面晶圆上芯片进行精确、高效的测试和筛选。

主权项

一种晶圆级红外焦平面参数测试系统，其特征是：包括控制柜（18）和真空腔（1），控制柜（18）内设置偏置电压产生装置（19）、脉冲信号产生装置（20）、移位控制模块（21）和黑体辐射源控制装置（22），真空腔（1）内从上到下依次设置黑体辐射源（2）、探针卡（6）、载片台（9）和移位控制电机（10），黑体辐射源（2）辐射方向垂直向下，正对载片台（9）的中心，载片台（9）的中心处固定被测晶圆（8）；所述黑体辐射源（2）固定在真空腔（1）内的底板上，在黑体辐射源（2）外侧设置黑体辐射源支架（4），黑体辐射源支架（4）上连接可移动支撑臂（5），可移动支撑臂（5）上连接探针卡（6），探针卡（6）上设置探针（7）；所述可移动支撑臂（5）由转轴驱动实现张开和闭合以带动探针卡（6）上下移动；所述载片台（9）与移位控制电机（10）的动力输出端连接实现水平方向的二维移动；在所述真空腔（1）的底板上设置信号读出接口（13）、偏置电压接口模块（15）、脉冲信号接口模块（14）和黑体温度控制接口（17）；所述偏置电压接口模块（15）内设置偏置电压接口（25），脉冲信号接口模块（14）内设置时钟脉冲信号接口（23）；所述偏置电压产生装置（19）连接偏置电压接口（25），偏置电压接口（25）连接探针卡（6）上的探针（7）；所述脉冲信号产生装置（20）连接时钟脉冲信号接口（23），时钟脉冲信号接口（23）连接探针卡（6）上的探针（7）；所述黑体辐射源控制装置（22）连接黑体温度控制接口（17），黑体温度控制接口（17）连接黑体辐射源（2）。