[发明专利]一种基于图像识别的晶粒挑选系统及方法有效

专利信息
申请号: 201611197539.6 申请日: 2016-12-22
公开(公告)号: CN107068589B 公开(公告)日: 2020-03-20
发明(设计)人: 刘水旺;吴文彬 申请(专利权)人: 厦门市三安集成电路有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 连耀忠;叶碎银
地址: 361000 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种基于图像识别的晶粒挑选系统及方法,所述系统包括:工作台,其上放置有蓝膜,该蓝膜上间隔布置有多个待挑选的晶粒;图像识别装置,其建立有至少一种标准晶粒的像素集:将标准晶粒的图像分解成N个像素点,并记录每个像素点的灰阶标准值;机械手,用于将所需的晶粒挑选出来;图像识别装置连接有用于获取蓝膜表面各个方位图像的光学镜头,该光学镜头设在工作台上方;所述图像识别装置对光学镜头每次获取的图像的各个像素点的灰阶值与相应的标准晶粒像素集进行一一比对,在比对结果大于预设值时,判定该光学镜头当前视野下的对象为所需晶粒。本发明具有工作效率高、避免混料等特点。
搜索关键词: 一种 基于 图像 识别 晶粒 挑选 系统 方法
【主权项】:
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