[发明专利]一种基于图像识别的晶粒挑选系统及方法有效

专利信息
申请号: 201611197539.6 申请日: 2016-12-22
公开(公告)号: CN107068589B 公开(公告)日: 2020-03-20
发明(设计)人: 刘水旺;吴文彬 申请(专利权)人: 厦门市三安集成电路有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 连耀忠;叶碎银
地址: 361000 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 图像 识别 晶粒 挑选 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种基于图像识别的晶粒挑选系统,其特征在于,包括:

工作台,其上放置有蓝膜,该蓝膜上间隔布置有多个待挑选的晶粒;

图像识别装置,其建立有若干种不同类型的标准晶粒的像素集:将标准晶粒的图像分解成N个像素点,并记录每个像素点的灰阶标准值;

机械手,用于将蓝膜上所需的晶粒挑选出来;

所述图像识别装置连接有用于获取蓝膜表面各个方位图像的光学镜头,该光学镜头设在工作台上方;所述图像识别装置对光学镜头每次获取的图像的各个像素点的灰阶值与相应的标准晶粒像素集进行一一比对,在比对结果大于预设值时,判定该图像坐标下的对象为所需晶粒;所述图像识别装置对比对结果大于预设值的图像的坐标进行记忆,并在光学镜头获取完蓝膜表面各个方位的图像,以及完成对各个图像的比对工作后,通过机械手对所记忆的各个图像坐标下的晶粒挑选出来。

2.根据权利要求1所述的基于图像识别的晶粒挑选系统,其特征在于:所述光学镜头固定不动,所述工作台为移动平台,其连接有移动控制机构,控制工作台每隔预设时间移动预设位移,使光学镜头获取一次图像,工作台的移动顺序为:沿x轴的预设方向依次移动直至移动到极限位置、沿y轴的预设方向移动预设位移、沿所述x轴的预设方向的反方向依次移动直至移动到极限位置、沿y轴的预设方向移动预设位移,按此循环往复,直至光学镜头获取完获取蓝膜表面各个方位的图像。

3.根据权利要求1所述的基于图像识别的晶粒挑选系统,其特征在于:所述工作台还连接有角度调整机构,用于调整工作台的角度。

4.根据权利要求2所述的基于图像识别的晶粒挑选系统,其特征在于:所述机械手尾部安装有用于吸起晶粒的吸嘴,所述机械手通过转动实现吸料和放料;所述工作台通过所述移动控制机构带动将所需晶粒输送至机械手的吸料位置,且在吸料位置处具有位于蓝膜下方的顶针,所述工作台通过沿z轴方向移动使顶针顶起所需晶粒。

5.根据权利要求1所述的基于图像识别的晶粒挑选系统,其特征在于:还包括放料台,该放料台上铺设有放料蓝膜,所述机械手将挑选出的晶粒整齐放置在该放料蓝膜上。

6.根据权利要求1所述的基于图像识别的晶粒挑选系统,其特征在于:所述图像识别装置包括显示器和连接该显示器的图像识别主机,图像识别主机连接所述光学镜头;和/或,所述预设值为设置为一定数值的定位分数,该定位分数为光学镜头每次获取的图像中所有符合的像素点与该图像的总像素点的比值。

7.根据权利要求2所述的基于图像识别的晶粒挑选系统,其特征在于:所述预设位移为一个像素点的长度或若干个像素点的长度之和。

8.一种基于图像识别的晶粒挑选方法,其特征在于:在工作台上放置间隔布置有多个待挑选晶粒的蓝膜;建立若干种不同类型的标准晶粒的像素集:将标准晶粒的图像分解成N个像素点,并记录每个像素点的灰阶标准值;用光学镜头获取蓝膜表面各个方位的图像,对光学镜头每次获取的图像的各个像素点的灰阶值与相应的标准晶粒像素集进行一一比对,若比对结果大于预设值,则判定该图像坐标下的对象为所需晶粒;用机械手将所需晶粒挑选出来;对比对结果大于预设值的图像的坐标进行记忆,并在光学镜头获取完蓝膜表面各个方位的图像,以及完成对各个图像的比对工作后,用机械手对所记忆的各个图像坐标下的晶粒挑选出来。

9.根据权利要求8所述的基于图像识别的晶粒挑选方法,其特征在于:所述光学镜头固定不动,所述工作台通过每隔预设时间移动预设距离使光学镜头获取一次图像,工作台的移动顺序为:沿x轴的预设方向依次移动直至移动到极限位置、沿y轴的预设方向移动预设位移、沿所述x轴的预设方向的反方向依次移动直至移动到极限位置、沿y轴的预设方向移动预设位移,按此循环往复,直至光学镜头获取完获取蓝膜表面各个方位的图像。

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