[发明专利]一种图像传感器件低频传递函数测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 201611180868.X | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106679934B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 张冰 | 申请（专利权）人： | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图像传感器件低频传递函数测试装置及其测试方法，包括顺序设置的积分球、光学靶标、平行光管和光学透射镜头，光学透射镜头处设置有控制驱动板，控制驱动板与图像采集处理模块连接；其中光学靶标上设置有若干互相平行的靶标条纹。通过低频靶标与其他光学器件的设计，将靶标在光学组件中的调制度降至最低，从而完成了适配高分辨率、超小像素类型的图像传感器件的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图像传感器 低频 传递函数 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图像传感器件低频传递函数测试装置，其特征在于，包括顺序设置的积分球(1)、光学靶标(3)、平行光管(4)和光学透射镜头(5)，光学透射镜头(5)处设置有控制驱动板(7)，控制驱动板(7)与图像采集处理模块(8)连接；所述光学靶标(3)上设置有若干互相平行的靶标条纹(12)，靶标条纹(12)的宽度为![]()
其中f0为低频靶标的频率，![]()
其中p为像元尺寸；Pmax为接近奈奎斯特空间频率的最高奇次谐波数；F2为光学透射镜头的焦距；F1为平行光管焦距。
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