[发明专利]一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法

摘要

本发明公开了一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法，所述装置包括准分子激光器(1)、能量控制器(2)、平凹柱面镜(3)、平凸柱面镜(4)、分束镜(5)、能量探测器(6)、第一平面反射镜(7)、衍射光学元件(8)、傅里叶透镜(9)、第一准直物镜(10)、第一1/4波片(11)、第一1/2波片(12)、第二平面反射镜(13)、第一聚焦物镜(14)、小孔板(15)、第二准直物镜(16)、第二1/2波片(17)、偏振分光棱镜(18)、第二1/4波片(19)、第二聚焦物镜(20)、待测深紫外光学系统(21)、球面反射镜(22)、第一中继镜(23)、第二中继镜(24)和夏克‐哈特曼波前传感器(25)。本发明的装置和方法实现了深紫外光学系统集成装调过程中系统波像差的快速高精度检测。

主权项

1.一种深紫外光学系统波像差检测装置，其特征在于，该装置包括准分子激光器(1)、能量控制器(2)、平凹柱面镜(3)、平凸柱面镜(4)、分束镜(5)、能量探测器(6)、第一平面反射镜(7)、衍射光学元件(8)、傅里叶透镜(9)、第一准直物镜(10)、第一1/4波片(11)、第一1/2波片(12)、第二平面反射镜(13)、第一聚焦物镜(14)、小孔板(15)、第二准直物镜(16)、第二1/2波片(17)、偏振分光棱镜(18)、第二1/4波片(19)、第二聚焦物镜(20)、待测深紫外光学系统(21)、球面反射镜(22)、第一中继镜(23)、第二中继镜(24)和夏克‑哈特曼波前传感器(25)；其中，准分子激光器(1)出射的狭长矩形光斑经能量控制器(2)后得到能量大小适宜的矩形光斑，经平凹柱透镜(3)和平凸柱透镜(4)后，成为方形光斑，方形光斑经过分束镜(5)后分成两个部分，一部分经分束镜(5)反射后进入探测器(6)，另一部分透过分束镜(5)后，通过第一平面反射镜(7)反射，传输到衍射光学元件(8)，在傅里叶透镜(9)的焦面上得到能量均匀分布的圆形光斑，该圆形光斑经第一准直物镜(10)后成为平行光束，该平行光束分别经过第一1/4波片(11)和第一1/2波片(12)后得到P偏振光，经第二平面反射镜(13)反射后，被第一聚焦物镜(14)聚焦到小孔板(15)上，从小孔板(15)出射的波前经第二准直物镜(16)准直后，通过第二1/2波片(17)调整偏振方向，得到P偏振光，该P偏振光分别经过偏振分光棱镜(18)和第二1/4波片(19)后成为圆偏振光，经过第二聚焦物镜(20)聚焦后进入待测深紫外光学系统(21)，然后通过球面反射镜(22)反射后再一次进入待测深紫外光学系统(21)，经第二聚焦物镜(20)和第二1/4波片(19)后成为S偏振光，S偏振光经偏振分光棱镜(18)反射后，进入第一中继镜(23)和第二中继镜(24)，最后在夏克‑哈特曼波前传感器(25)的探测面上得到光斑阵列，由光斑阵列的位置信息计算得待测深紫外光学系统(21)的波像差信息，所述小孔板(15)是通过刻蚀介质掩模上的介质膜得到的，其激光损伤阈值可达3J/cm2。