[发明专利]检查装置在审

专利信息
申请号: 201611166886.2 申请日: 2016-12-16
公开(公告)号: CN107037058A 公开(公告)日: 2017-08-11
发明(设计)人: 伊藤优作;矢野紘英;谷本宙一;久木田瑠璃子 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: G01N21/89 分类号: G01N21/89;G01N21/892;G01B11/06
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司11127 代理人: 李辉,于靖帅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供检查装置,缩短被检查物检查所需的时间。检查装置(2)对板状的被检查物(11)进行检查,其具有保持工作台(6),其对被检查物进行保持;旋转机构(8),其使保持工作台旋转;和检查单元(10),其对保持在保持工作台上的被检查物进行检查,检查单元包含取得检查信息的第1检测单元(24)和第2检测单元(26),该检查信息被用于检测被检查物的缺损、被检查物的表面的伤痕、附着于被检查物的附着物以及被检查物的厚度中的任意情况,一边使保持着被检查物的状态的保持工作台旋转,一边使检查单元按照包含被检查物的中心(11d)在内的直线状的区域(13)直线移动,从而利用第1检测单元和第2检测单元取得检查信息。
搜索关键词: 检查 装置
【主权项】:
一种检查装置,其对板状的被检查物进行检查,其特征在于,该检查装置具有:保持工作台,其对被检查物进行保持;旋转机构,其使该保持工作台旋转;以及检查单元,其对保持在该保持工作台上的被检查物进行检查,该检查单元包含取得检查信息的第1检测单元和第2检测单元,该检查信息被用于检测被检查物的缺损、被检查物的表面的伤痕、附着于被检查物的附着物以及被检查物的厚度中的任意情况,一边使保持着被检查物的状态的该保持工作台旋转,一边使该检查单元按照包含被检查物的中心在内的直线状的区域直线移动,从而利用该第1检测单元和该第2检测单元取得检查信息。
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