[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其对板状的被检查物进行检查，其特征在于，

该检查装置具有：

保持工作台，其对被检查物进行保持；

旋转机构，其使该保持工作台旋转；以及

检查单元，其对保持在该保持工作台上的被检查物进行检查，

该检查单元包含取得检查信息的第1检测单元和第2检测单元，该检查信息被用于检测被检查物的缺损、被检查物的表面的伤痕、附着于被检查物的附着物以及被检查物的厚度中的任意情况，

一边使保持着被检查物的状态的该保持工作台旋转，一边使该检查单元按照包含被检查物的中心在内的直线状的区域直线移动，从而利用该第1检测单元和该第2检测单元取得检查信息。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述第1检测单元和所述第2检测单元分别是如下的单元中的任意的单元：

明视野拍摄单元，其利用明视野观察法对被检查物进行拍摄而取得检查信息；

暗视野拍摄单元，其利用暗视野观察法对被检查物进行拍摄而取得检查信息；

表面检查单元，其对因被检查物而散射的光进行检测而取得检查信息；以及

厚度测量单元，其对被检查物的上表面的高度进行测量而取得检查信息。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

该检查装置还具有：

第1控制部，其对所述检查单元的直线移动进行控制，并存储该检查单元的坐标；以及

第2控制部，其对所述保持工作台的旋转进行控制，并存储该保持工作台的旋转角度，

该检查装置根据被检查物的任意的基准点的坐标、存储于该第1控制部的该检查单元的坐标以及存储于该第2控制部的该保持工作台的旋转角度而在被检查物上确定出取得了检查信息的位置。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，该检查装置还具有：

图像生成部，其根据被检查物的所述基准点的坐标、存储于所述第1控制部的所述检查单元的坐标、存储于所述第2控制部的所述保持工作台的旋转角度以及所述第1检测单元或者所述第2检测单元所取得的检查信息而生成图像；以及

显示器，其对该图像生成部所生成的图像进行显示。