[发明专利]光学特性测定装置以及光学系统有效
申请号: | 201611160666.9 | 申请日: | 2016-12-15 |
公开(公告)号: | CN106990052B | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 冈本宗大;佐野弘幸 | 申请(专利权)人: | 大塚电子株式会社 |
主分类号: | G01N21/27 | 分类号: | G01N21/27;G01N21/01 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种能够实现小型化且提高了通用性的光学特性测定装置以及光学系统。光学特性测定装置包含:第一光学元件,其将来自被测定物的测定光变换为平行光;反射型透镜,其通过反射来自第一光学元件的平行光来将该平行光变换为会聚光;受光部,其接收来自反射型透镜的会聚光;以及驱动机构,其使第一光学元件相对于被测定物的相对位置变化。 | ||
搜索关键词: | 光学 特性 测定 装置 以及 光学系统 | ||
【主权项】:
一种光学特性测定装置,其特征在于,具备:第一光学元件,其将来自被测定物的测定光变换为平行光;反射型透镜,其通过反射来自所述第一光学元件的平行光来将该平行光变换为会聚光;受光部,其接收来自所述反射型透镜的会聚光;以及驱动机构,其使所述第一光学元件相对于所述被测定物的相对位置变化。
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