[发明专利]光学特性测定装置以及光学系统

权利要求书

1.一种光学特性测定装置，其特征在于，具备：

第一光源，其产生向被测定物照射的入射光；

第二光源，其产生波长成分中至少含有可见区域的观测光；

第一光学元件，其将向所述被测定物照射所述入射光所产生的测定光变换为平行光；

反射型透镜，其通过反射来自所述第一光学元件的平行光来使该平行光的传播方向变化，并且将该平行光变换为会聚光；

受光部，其接收来自所述反射型透镜的会聚光；

驱动机构，其使所述第一光学元件相对于所述被测定物的相对位置变化；以及

分束器，其配置在从所述反射型透镜至所述受光部的光学路径上，并且与所述第一光源及所述第二光源均以光学方式连接，

其中，所述入射光和所述测定光均通过所述第一光学元件和所述反射型透镜。

2.根据权利要求1所述的光学特性测定装置，其特征在于，

还具备第二光学元件，该第二光学元件配置在所述第一光学元件与所述反射型透镜之间的光学路径上，通过反射来自所述第一光学元件的平行光来使该平行光的传播方向变化。

3.根据权利要求1或2所述的光学特性测定装置，其特征在于，

所述第一光学元件包含凸面反射镜和凹面反射镜的组，其中，该凸面反射镜和该凹面反射镜被配置为各自的中心轴与所述平行光的光轴一致。

4.根据权利要求1或2所述的光学特性测定装置，其特征在于，

所述第一光学元件包含与所述反射型透镜相对应地配置的曲面镜以及与该曲面镜组合的转向镜。

5.根据权利要求1或2所述的光学特性测定装置，其特征在于，

所述受光部输出从所述反射型透镜接收到的光所包含的波长谱。

6.根据权利要求1或2所述的光学特性测定装置，其特征在于，

所述第一光源产生含有与要从所述被测定物测定的光学特性相应的波长成分的所述测定光。

7.根据权利要求6所述的光学特性测定装置，其特征在于，

还具备观测单元，该观测单元观测向所述被测定物照射的测定光的像。

8.根据权利要求7所述的光学特性测定装置，其特征在于，

还具备控制单元，该控制单元基于由所述观测单元观测到的像的清晰度来驱动所述驱动机构，由此决定所述第一光学元件相对于所述被测定物的相对位置。