[发明专利]光学特性测定装置以及光学系统

说明书

提供一种能够实现小型化且提高了通用性的光学特性测定装置以及光学系统。光学特性测定装置包含：第一光学元件，其将来自被测定物的测定光变换为平行光；反射型透镜，其通过反射来自第一光学元件的平行光来将该平行光变换为会聚光；受光部，其接收来自反射型透镜的会聚光；以及驱动机构，其使第一光学元件相对于被测定物的相对位置变化。

技术领域

本技术涉及一种用于测定被测定物的光学特性的光学特性测定装置以及该光学特性测定装置中使用的光学系统。

背景技术

作为测定被测定物的光学特性的光学特性测定装置的一例，已知的是显微分光装置。显微分光装置通过对来自任意被测定物的光进行分光测量来输出该被测定物的反射率或折射率、消光系数、膜厚之类的光学特性。在日本特开2008-286583号公报中，作为显微分光装置的一例，公开一种能够提高光学特性的测定精度并且能够更容易地进行针对被测定物的对焦的光学特性测定装置。

日本特开2008-286583号公报中公开的光学特性测定装置具有被称为有限远镜筒型的显微镜的构造。与此相对，已知一种被称为无限远镜筒型的显微镜的构造。作为采用了这种无限远镜筒型的显微镜的结构，日本特开平11-249027号公报公开了一种能够自动地调整观察试样的调焦位置的自动调焦显微镜。

发明内容

在日本特开平11-249027号公报所公开的自动调焦显微镜中，假定微细的资料的观察或者观察像的视频拍摄等用途，不能在除了可见区域之外还需要测定红外区域和紫外区域的光学特性的光学特性测定装置中直接使用。

本技术的目的在于提供一种能够实现小型化且提高了通用性的光学特性测定装置。

按照本发明的某个方面的光学特性测定装置包含：第一光学元件，其将来自被测定物的测定光变换为平行光；反射型透镜，其通过反射来自第一光学元件的平行光来将该平行光变换为会聚光；受光部，其接收来自反射型透镜的会聚光；以及驱动机构，其使第一光学元件相对于被测定物的相对位置变化。

光学特性测定装置也可以还包含第二光学元件，该第二光学元件配置在第一光学元件与反射型透镜之间的光学路径上，通过反射来自第一光学元件的平行光来使该平行光的传播方向变化。

第一光学元件也可以包含凸面反射镜和凹面反射镜的组，其中，该凸面反射镜和该凹面反射镜被配置为各自的中心轴与平行光的光轴一致。

第一光学元件也可以还包含与反射型透镜相对应地配置的曲面镜以及与该曲面镜组合的转向镜。

受光部也可以输出从反射型透镜接收到的光所包含的波长谱。

光学特性测定装置也可以还包含：第一光源，其产生向被测定物照射的测定光；以及分束器，其配置在从反射型透镜至受光部的光学路径上，并且与第一光源以光学方式连接。

光学特性测定装置也可以还包含第二光源，该第二光源产生波长成分中至少含有可见区域的观测光，第一光源产生含有与要从被测定物测定的光学特性相应的波长成分的测定光。

光学特性测定装置也可以还包含观测单元，该观测单元观测向被测定物照射的测定光的像。

光学特性测定装置也可以还包含控制单元，该控制单元基于由观测单元观测到的像的清晰度来驱动驱动机构，由此决定第一光学元件相对于被测定物的相对位置。

按照本发明的另一方面的光学系统包含：第一光学元件，其将来自被测定物的测定光变换为平行光；反射型透镜，其通过反射来自第一光学元件的平行光来将该平行光变换为会聚光；以及受光部，其接收来自反射型透镜的会聚光。

根据与附图关联地理解的同本发明有关的以下的详细说明，能够明确本发明的上述及其它目的、特征、方面以及优点。

附图说明

图1是示出按照实施方式的测定装置的装置结构的示意图。