[发明专利]一种基于夏克-哈特曼波前传感器的光学系统畸变测量方法有效
| 申请号： | 201611156582.8 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN106768882B | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 张俊波;张昂;鲜浩;张学军;魏凌;杨金生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种基于夏克‑哈特曼波前传感器的光学系统畸变测量方法，该测量方法中，采用小口径平行光源(1)入射被测光学系统(3)，通过扫描像面(5)使夏克‑哈特曼波前传感器(7)处于被测光学系统(3)的共焦位置，并记录扫描角度ω'p1，利用夏克‑哈特曼波前传感器(7)测量波像差(4)引起的偏移角度ω'p2，进而得到实际出射角ω'p，ω'p＝ω'p1+ω'p2，并根据理想出射角ω'o，入射角ω和被测光学系统(3)焦距f'，得到不同视场状态下被测光学系统(3)的相对畸变量q和畸变量△y， |
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| 搜索关键词： | 光学系统 哈特曼波前传感器 测量 畸变测量 出射角 畸变量 测量成本 共焦位置 记录扫描 平行光源 焦距 偏移 测量波 入射角 有效地 入射 视场 像差 像面 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种基于夏克‑哈特曼波前传感器的光学系统畸变测量方法，其特征在于，该方法测量过程为：小口径平行光源(1)直接入射被测光学系统(3)，平行光源(1)绕被测光学系统入瞳(2)中心旋转实现视场角的改变，运动装置通过扫描像面方式使夏克‑哈特曼波前传感器(7)处于被测光学系统(3)共焦位置，根据测量所得的扫描角度和波像差引起的偏移角度获得实际出射角，并对比入射视场角，得出不同视场状态下的相对畸变量和畸变量。
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