[发明专利]AFM探针横向力标定系数测量方法及横向力标定方法有效
| 申请号： | 201611130422.6 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106526242B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 郑学军;严鑫洋;彭金峰;冯东东 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人： | 颜勇 |
| 地址： | 411105 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明AFM探针横向力标定系数测量方法及横向力标定方法，属于纳米科技和纳米摩擦学的交叉领域，测量方法是在标准实验室环境条件下，利用AFM，测量试样在同一区域承受不同法向载荷Fn下的摩擦力电信号Uf及表面黏附力Fad；代入Ufβ＝k(Fn+Fad)中，采用最优参数估计法求解出横向力标定系数β，从而实现横向力标定。本发明的优点在于：(a)本方法使用的材料具有任意性，不需加工，取材方便，成本低；(b)本方法基于Amontons定律，考虑了黏附力对标定的影响，计算过程简单、快速、准确，可广泛适用于各类AFM探针和微悬臂梁的横向力标定。 | ||
| 搜索关键词： | 横向力 标定 标定系数 探针 测量 黏附 实验室环境条件 纳米摩擦学 测量试样 方法使用 计算过程 纳米科技 同一区域 微悬臂梁 最优参数 任意性 求解 法向 取材 加工 | ||
【主权项】：
1.AFM探针横向力标定系数测量方法，是在标准实验室环境条件下，利用AFM，测量试样同一区域承受不同法向载荷Fn下的摩擦力电信号Uf及表面黏附力Fad；代入式（1）中，采用最优参数估计法求解出横向力标定系数![]()
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……….（1）式（1）中K为探针与样品之间的摩擦系数；试样选自单晶硅片、云母片、MoS2纳米片中的任意一种。
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