[发明专利]一种高温耐磨CrAlSiON基纳米复合涂层及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种高温耐磨CrAlSiON基纳米复合涂层，主要包括AlTiN过渡层、CrAlSiN支撑层和CrAlSiON功能层。该涂层采用多弧离子镀技术，通过改变工艺参数来获取不同成分的CrAlSiON基纳米复合涂层。将氧元素引入CrAlSiON基纳米复合涂层，通过沉积条件的改变控制氧在涂层中的存在形式，使涂层中预先形成一种或多种摩擦系数低、耐磨损的氧化物，提高了涂层之间的结合力，同时也降低了涂层之间的应力和高温条件下的摩擦系数，改善了涂层抗摩擦磨损性能和热稳定性能，使得涂层更适用于更苛刻的高速切削高硬度的环境，在刀具及表面防护领域具有重大的应用前景。

主权项

一种高温耐磨CrAlSiON基纳米复合涂层，其特征在于，包括AlTiN过渡层、CrAlSiN支撑层和CrAlSiON功能层；所述AlTiN过渡层中各元素的原子百分比含量为：Al: 25~35 at.%，Ti:15~20 at.%，N: 25~45 at.%，各元素组成百分比总量为100%；所述CrAlSiN支撑层中各元素的原子百分比含量为：Al: 25~30 at.%，Cr: 20~25 at.%，Si: 1~10 at.%，N: 45~50 at.%；所述CrAlSiON功能层中各元素的原子百分比含量为：Al: 20~35 at.%，Cr: 10~20 at.%，Si: 2~12 at.%，O: 5~43 at.%，N: 10~53 at.%。