[发明专利]位置校正装置及位置校正方法

摘要

本发明揭露一种位置校正装置及位置校正方法，用于基板校正至指定位置，位置校正装置包含第一校正组及第二校正组。第一校正组包含具有第一弹性件的第一校正单元，第二校正组包含具有第二弹性件的第二校正单元，第二弹性件的弹性系数小于第一弹性件的弹性系数；使用时先驱动第一校正组沿第一方向移动至第一预定位置，然后驱动第二校正组沿第二方向移动至第二预定位置，第二方向与第一方向相反，以将基板夹持于第一校正组与第二校正组之间。本发明先作动的校正组的弹性系数大，保证校正的准确性和稳定性，后作动的校正组的弹性系数小，保证施加于基板上的作用力增加曲线平缓，降低基板产生裂纹的风险。

主权项

1.一种位置校正装置，用于将放置于操作台面上的基板校正至指定位置，该基板具有相对的第一侧及第二侧，该基板位于该指定位置时，该第一侧位于第一预定位置，该第二侧位于第二预定位置，其特征在于该位置校正装置包含：第一校正组，邻近该基板的该第一侧设置，该第一校正组包含第一校正单元，该第一校正单元包含第一弹性件，该第一弹性件具有第一弹性系数；以及第二校正组，邻近该基板的该第二侧设置，该第二校正组包含第二校正单元，该第二校正单元包含第二弹性件，该第二弹性件具有第二弹性系数，该第二弹性系数小于该第一弹性系数；使用时，先驱动该第一校正组沿第一方向移动至该第一预定位置，该第一方向为该第一侧指向该第二侧的方向，然后驱动该第二校正组沿第二方向移动至该第二预定位置，该第二方向与该第一方向相反，从而将该基板夹持于该第一校正组与该第二校正组之间。