[发明专利]一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜有效
| 申请号： | 201611104251.X | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN106767330B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 孟祥良;孙占峰 | 申请（专利权）人： | 北京中科科仪股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/24 | 分类号： | G01B5/24;F16J15/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 周美华 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜，该阀头包括活动件承载件、容纳于活动件承载件的安装孔内的活动件，以及在背对固定件的方向上支撑活动件相对固定件浮动的活动件支撑装置，活动件具有与固定件的第一密封平面配合的第二密封平面，以及连接于第二密封平面背向固定件的周向面，周向面在活动件的轴向方向上至少部分为球面，安装孔具有与球面相适配的圆柱面，活动件在一定浮动角度内浮动时，球面始终能与安装孔的圆柱面保持周向的线接触。本发明提供的阀头，能够消除两个平面各个方向上的平行度误差，从而使两个密封平面充分贴合，具有该阀头的平行误差自动补偿装置，及具有该补偿装置的电镜能够保证密封的重复度。 | ||
| 搜索关键词： | 活动件 阀头 密封平面 球面 自动补偿装置 平行误差 安装孔 固定件 浮动 承载件 圆柱面 周向面 平行度误差 补偿装置 支撑装置 轴向方向 上支撑 线接触 背对 适配 贴合 密封 容纳 重复 配合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种阀头，其特征在于，包括：活动件(2)，具有与固定件(1)的第一密封平面(11)配合的第二密封平面(21)，以及连接于所述第二密封平面(21)背向所述固定件(1)的周向面，所述周向面在所述活动件(2)的轴向方向上至少部分为球面，所述球面沿所述轴向方向的两端边缘所在平面位于所述球面的球心的在该轴向方向的相反侧；活动件支撑装置(3)，用于在背对所述固定件(1)的方向上支撑所述活动件(2)相对所述固定件(1)浮动；活动件承载件(4)，具有容纳所述活动件(2)的安装孔(41)，所述安装孔(41)具有与所述球面相适配的圆柱面，以使在所述活动件(2)的浮动过程中，所述圆柱面与所述球面一直保持线接触；所述活动件(2)与所述活动件支撑装置(3)之间设有球面接触结构，所述球面接触结构包括设于所述活动件(2)远离所述固定件(1)一侧的凹球面以及设于所述活动件支撑装置(3)上的、适于嵌入所述凹球面的凸球面，或者设于所述活动件(2)远离所述固定件(1)一侧的凸球面以及设于所述活动件支撑装置(3)上的、适于所述凸球面嵌入的凹球面。
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