[发明专利]一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜

权利要求书

1.一种阀头，其特征在于，包括：

活动件(2)，具有与固定件(1)的第一密封平面(11)配合的第二密封平面(21)，以及连接于所述第二密封平面(21)背向所述固定件(1)的周向面，所述周向面在所述活动件(2)的轴向方向上至少部分为球面，所述球面沿所述轴向方向的两端边缘所在平面位于所述球面的球心的在该轴向方向的相反侧；

活动件支撑装置(3)，用于在背对所述固定件(1)的方向上支撑所述活动件(2)相对所述固定件(1)浮动；

活动件承载件(4)，具有容纳所述活动件(2)的安装孔(41)，所述安装孔(41)具有与所述球面相适配的圆柱面，以使在所述活动件(2)的浮动过程中，所述圆柱面与所述球面一直保持线接触；

所述活动件(2)与所述活动件支撑装置(3)之间设有球面接触结构，所述球面接触结构包括设于所述活动件(2)远离所述固定件(1)一侧的凹球面以及设于所述活动件支撑装置(3)上的、适于嵌入所述凹球面的凸球面，或者设于所述活动件(2)远离所述固定件(1)一侧的凸球面以及设于所述活动件支撑装置(3)上的、适于所述凸球面嵌入的凹球面。

2.根据权利要求1所述的阀头，其特征在于，所述活动件(2)呈轴向上下对称的球台状。

3.根据权利要求1所述的阀头，其特征在于，所述活动件(2)远离所述固定件(1)一侧设有凹球面，所述活动件支撑装置(3)包括适于嵌入所述凹球面的支撑球(31)，以及用于支撑所述支撑球(31)的支撑座(32)，所述支撑座(32)上成型有适于容纳所述支撑球(31)外露于所述凹球面部分的容纳槽，并且所述凹球面与所述容纳槽的轴向深度之和小于所述支撑球(31)的直径。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的阀头，其特征在于，还包括设置于所述活动件(2)和活动件承载件(4)上的轴向限位结构，所述轴向限位结构防止所述活动件(2)在朝向所述固定件(1)一侧从所述安装孔(41)中脱出，并对所述活动件(2)相对所述固定件(1)的浮动角度进行限制。

5.根据权利要求4所述的阀头，其特征在于，所述轴向限位结构包括设于所述活动件(2)的周向面上的、位于所述球面远离所述固定件(1)一侧的径向凸台(22)，以及设于所述活动件承载件(4)的圆柱面的径向凹台，所述径向凸台(22)伸入到所述径向凹台内。

6.根据权利要求3所述的阀头，其特征在于，还包括在所述活动件(2)背对所述固定件(1)一侧施加弹性力的弹性偏压件(5)，通过所述弹性偏压件(5)的弹性力能够使得所述活动件(2)相对所述固定件(1)实现弹性浮动。

7.根据权利要求6所述的阀头，其特征在于，所述活动件承载件(4)还包括设于所述安装孔(41)下方的安装腔(42)，所述活动件支撑装置(3)设于所述安装腔(42)内。

8.根据权利要求7所述的阀头，其特征在于，所述支撑座(32)的远离所述支撑球(31)的一端与所述安装腔(42)连接，所述弹性偏压件(5)为套设于所述支撑座(32)外侧、并且一端抵住所述活动件(2)靠近所述支撑球(31)的端面，另一端抵住所述支撑座(32)或者所述安装腔(42)内壁的弹性压簧。

9.一种平行误差自动补偿装置，其特征在于，包括

固定件(1)，具有第一密封平面(11)；

权利要求1-8中任一项所述的阀头；以及

弹性密封件(6)，设于所述第一密封平面(11)与所述阀头的第二密封平面(21)之间。

10.根据权利要求9所述的平行误差自动补偿装置，其特征在于，所述弹性密封件(6)为弹性密封圈；所述第一密封平面(11)和/或所述第二密封平面(21)上设有用于对所述弹性密封圈进行限位的密封圈定位槽。

11.一种电镜，其特征在于，包括权利要求9或10所述的平行误差自动补偿装置，所述固定件(1)为用于电镜的镜筒，所述镜筒的端部具有所述第一密封平面(11)；所述阀头为用于将样品室与镜筒的高真空部分隔离开的镜筒隔断阀的阀头。