[发明专利]一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜

说明书

一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜，该阀头包括活动件承载件、容纳于活动件承载件的安装孔内的活动件，以及在背对固定件的方向上支撑活动件相对固定件浮动的活动件支撑装置，活动件具有与固定件的第一密封平面配合的第二密封平面，以及连接于第二密封平面背向固定件的周向面，周向面在活动件的轴向方向上至少部分为球面，安装孔具有与球面相适配的圆柱面，活动件在一定浮动角度内浮动时，球面始终能与安装孔的圆柱面保持周向的线接触。本发明提供的阀头，能够消除两个平面各个方向上的平行度误差，从而使两个密封平面充分贴合，具有该阀头的平行误差自动补偿装置，及具有该补偿装置的电镜能够保证密封的重复度。

技术领域

本发明涉及误差自动补偿技术领域，更具体地涉及一种阀头、具有该阀头的平行误差自动补偿装置以及电镜。

背景技术

扫描电镜是利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描以得到二次电子图像或背散射电子图像的电子光学仪器，电子束由电子枪发射出来到样品表面的路径，我们称之为光路，光路的中间称之为光轴，电子束由电子枪发出经过镜筒最后达到样品室的样品上，在实际使用过程中，样品的更换频率比较高，而场发射电子枪属于长期工作制的电子枪，电子枪的电流一旦加载，没有特殊情况下是始终保持加热状态的，工作状态下的电子枪需要很高的真空度，一旦真空度下降会对电子枪造成无法修复的损伤，所以要想保证在更换样品的时候保持镜筒内的高真空状态，必须在换样品的时候将样品室与镜筒的高真空部分隔离开来，完成该部分功能的装置叫镜筒隔断阀。一般电镜的镜筒隔断阀都配有自动控制模式，镜筒隔断阀在使用过程中不断的开启关闭，对密封的重复度要求很高，这就要求在设计该隔断阀时必须要尽可能的消除各种误差，以使两个密封面能够保证平行，从而来保证每次的密封性能。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中阀头的密封平面不能浮动、难以和与之配合的固定件的密封平面始终保持平行的缺陷，从而提供一种能够密封平面能够自动浮动的阀头。

进一步提供一种具有上述阀头的平行误差自动补偿装置。

进一步提供一种具有上述平行误差自动补偿装置的电镜。

本发明采用的技术方案如下：

一种阀头，包括：活动件，具有与固定件的第一密封平面配合的第二密封平面，以及连接于所述第二密封平面背向所述固定件的周向面，所述周向面在所述活动件的轴向方向上至少部分为球面，所述球面沿所述轴向方向的两端边缘所在平面位于所述球面的球心的在该轴向方向的相反侧；活动件支撑装置，用于在背对所述固定件的方向上支撑所述活动件相对所述固定件浮动；活动件承载件，具有容纳所述活动件的安装孔，所述安装孔具有与所述球面相适配的圆柱面，以使在所述活动件的浮动过程中，所述圆柱面与所述球面一直保持线接触。

所述活动件呈轴向上下对称的球台状。

所述活动件与所述活动件支撑装置之间设有球面接触结构，所述球面接触结构包括设于所述活动件远离所述固定件一侧的凹球面以及设于所述活动件支撑装置上的、适于嵌入所述凹球面的凸球面，或者设于所述活动件远离所述固定件一侧的凸球面以及设于所述活动件支撑装置上的、适于所述凸球面嵌入的凹球面。

所述活动件远离所述固定件一侧设有凹球面，所述活动件支撑装置包括适于嵌入所述凹球面的支撑球，以及用于支撑所述支撑球的支撑座，所述支撑座上成型有适于容纳所述支撑球外露于所述凹球面部分的容纳槽，并且所述凹球面与所述容纳槽的轴向深度之和小于所述支撑球的直径。

还包括设置于所述活动件和活动件承载件上的轴向限位结构，所述轴向限位结构防止所述活动件在朝向所述固定件一侧从所述安装孔中脱出，并对所述活动件相对所述固定件的浮动角度进行限制。

所述轴向限位结构包括设于所述活动件的周向面上的、位于所述球面远离所述固定件一侧的径向凸台，以及设于所述活动件承载件的圆柱面的径向凹台，所述径向凸台伸入到所述径向凹台内。