[发明专利]一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201611096673.7 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN108149220B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 易剑;李明磊;王少龙;褚伍波;马洪兵;江南 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30 |
| 代理公司： | 31266 上海一平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 马思敏;徐嘉慧<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层及其制备方法。具体地，本发明的二硫化钼自润滑复合涂层中掺杂稀土元素钇，其中，所述的复合涂层中的钇元素摩尔含量为0.1％～5％，按所述复合涂层的总摩尔量计。本发明采用升华硫(S)、六水合氯化钇(YCl3·6H2O)和三氧化钼(MoO3)粉为原料，利用化学气相沉积工艺制备稀土钇掺杂的二硫化钼自润滑复合涂层。本发明的二硫化钼自润滑涂层具有良好的耐磨性和自润滑性，以及优异的绕镀性，可以在形状的大尺寸复杂工件上实施涂层沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 二硫化钼 自润滑复合涂层 掺杂的 稀土钇 复合涂层 制备 掺杂稀土元素 化学气相沉积 水合氯化钇 自润滑涂层 耐磨性 复杂工件 工艺制备 三氧化钼 涂层沉积 自润滑性 升华硫 钇元素 | ||
【主权项】：
1.一种二硫化钼自润滑复合涂层，其特征在于，所述的复合涂层掺杂稀土元素钇，其中，所述的复合涂层中的钇元素摩尔含量为0.1％～5％，按所述复合涂层的总摩尔量计；/n所述的复合涂层的厚度为1～3μm；/n所述的复合涂层的摩擦系数为0.05～0.30。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
