[发明专利]机械抛光过程的建模仿真方法及装置

摘要

本发明实施例提供的一种机械抛光过程的建模仿真方法及装置，涉及超精密制造领域，所述方法包括获取表征抛光工具的第一操作对象、表征工件的第二操作对象、表征抛光液的第三操作对象以及表征所述抛光液中磨粒的第四操作对象；分别获取第一、二、三及四操作对象的物理特性数据；建立表征机械抛光过程的固液耦合模型；基于所述固液耦合模型、第一操作对象的第一运动参数、第二操作对象的第二运动参数以及预设的仿真时间段，进行仿真，并获取所述第二操作对象的受力数据以及所述第四操作对象的速度数据；然后获得第一数据以及第二数据；分析且对比第一数据，获得第一运动参数以及第二运动参数，以便在实际机械抛光过程中提高抛光效率。

主权项

一种机械抛光过程的建模仿真方法，其特征在于，所述方法包括：获取表征抛光工具的第一操作对象、表征工件的第二操作对象、表征抛光液的第三操作对象以及表征所述抛光液中磨粒的第四操作对象；分别获取所述第一操作对象、所述第二操作对象、所述第三操作对象以及所述第四操作对象的物理特性数据；获取所述第一操作对象的初始运动参数，使得所述第一操作对象与所述第二操作对象之间产生相对运动；基于所述第一操作对象、所述第二操作对象、所述第三操作对象、所述第四操作对象以及所述第一操作对象的初始运动参数，建立表征机械抛光过程的固液耦合模型；获取所述第一操作对象的第一运动参数以及所述第二操作对象的第二运动参数；基于所述表征机械抛光过程的固液耦合模型、所述第一操作对象的第一运动参数、所述第二操作对象的第二运动参数以及预设的仿真时间段，进行仿真，并按照所述预设的仿真时间段的时序获取所述第二操作对象的受力数据以及所述第四操作对象的速度数据；基于预设的表征抛光效率的计算规则、所述第二操作对象的受力数据以及所述第四操作对象的速度数据，获得所述第二操作对象的表征抛光效率的第一数据以及所述第四操作对象的表征抛光效率的第二数据；分析且对比所述第二操作对象的表征抛光效率的第一数据，获得表征抛光效率较好的所述第一操作对象的第一运动参数以及表征抛光效率较好的所述第二操作对象的第二运动参数，以评价所述表征机械抛光过程的固液耦合模型的理论可行性；所述基于所述第一操作对象、所述第二操作对象、所述第三操作对象、所述第四操作对象以及所述第一操作对象的初始运动参数，建立表征机械抛光过程的固液耦合模型，包括：以所述第三操作对象为运行环境变量，基于所述第一操作对象的初始运动参数，使得所述第一操作对象运动并推动所述第二操作对象与所述第四操作对象接触且产生相对运动，直到相对运动达到稳定状态，建立表征机械抛光过程的固液耦合模型。