[发明专利]一种电火花等离子体引发聚合表面涂层装置及方法有效

专利信息
申请号: 201611076848.8 申请日: 2016-11-30
公开(公告)号: CN106622892B 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 宗坚 申请(专利权)人: 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
主分类号: B05D1/00 分类号: B05D1/00;B05B5/10
代理公司: 北京融智邦达知识产权代理事务所(普通合伙) 11885 代理人: 吴强
地址: 214000 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明一种电火花等离子体引发聚合表面涂层装置及方法,属于等离子体技术领域,用于在基材表面制备聚合物涂层。该装置中,在真空室安装多个火花塞,形成阵列单体蒸汽通过单体蒸汽管路送入真空室内,单体蒸汽管路在位于火花塞的正前方设置出口,真空排气管位于真空室远离火花塞和单体蒸汽管路出口的一侧,待处理的基材放在处理室内。该方法中将真空室抽至压强1Pa以下,开启单体蒸汽管路,通入单体蒸汽通入单体蒸汽的同时在火花塞上施加高压电脉冲,产生电火花引发单体蒸汽发生聚合并沉积在基材表面形成聚合物涂层。本发明具有火花塞电源结构简单、价格低、无需调试,放电稳定,不需要载体气体,单体扩散良好,涂层均匀等优点。
搜索关键词: 一种 电火花 等离子体 引发 聚合 表面 涂层 装置 方法
【主权项】:
一种电火花等离子体引发聚合表面涂层装置,其特征在于:在真空室(1)内间隔安装多个火花塞(2),构成阵列,火花塞(2)与电源(7)连接,单体蒸汽管路(3)连接在真空室内,单体蒸汽管路(3)在位于火花塞(2)的正前方设置出口,单体蒸汽管路另一端连接到单体蒸汽源,排气管(4)位于真空室(1)远离火花塞(2)和单体蒸汽管路(3)出口的一侧,排气管(4)另一端与真空泵(5)连接,待处理的基材(6)放在真空室(1)内。
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