[发明专利]合金表面镀钛工艺在审
| 申请号： | 201611072853.1 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN106521419A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 田绍洁;孙香兰;马克信 | 申请（专利权）人： | 大连圣洁真空技术开发有限公司开发区分公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/30;C23C8/24 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司21212 | 代理人： | 赵淑梅 |
| 地址： | 116000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种合金表面镀钛工艺，属于金属材料表面处理领域。本发明利用电子束物理气相沉积法(EB‑PVD)在铁碳合金上镀钛的工艺，在镀钛完成的同时，进行渗氮工艺，使其在钛的表面层形成TiN表层，可以改善表面的钛层在使用过程中的剥落，更为重要的是提高了表面层的强度及耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 表面 工艺 | ||
【主权项】：
合金表面镀钛工艺，其特征在于：所述镀钛工艺为电子束物理气相沉积法，所述方法工艺步骤如下：(1)将待处理的铁碳合金进行打磨处理，使其表面粗糙度不大于0.25；将打磨后的铁碳合金利用丙酮清洗，烘干；(2)将铁碳合金置于基板上，基板转速10～50r/min，基板表面温度为490～560℃；工作室的工作压力为0.005～0.5Pa，蒸镀速率4～6微米/min，蒸镀时间5～15min；(3)向工作室内通入氮气和氢气的混合气体，关闭电子束装置，将基板表面温度为800～960℃，保持工作室内的压力为50～500Pa，保温时间30～360min，其中，所述氮气与氢气的体积比为1:0.5～3。
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