[发明专利]一种真空设备泄漏检测及定位方法

摘要

本发明涉及一种真空设备泄漏检测及定位方法，属于泄漏检测技术领域，采集真空设备当前状态的振动信号，对所述振动信号进行分帧处理，将每帧数据分解为不同频率范围的多个信号分量，对所述信号分量进行处理，以提取存在疑似泄漏声信号分量及疑似泄漏声频率范围，对所述疑似泄漏声信号分量进行处理，以检测出是否存在泄漏，存在真实泄漏时，结合振动传播实际模型和真空设备不同位置的能量耗散特征，实现泄漏点定位，本发明以振动信号为处理对象，既能及时、准确发现真空设备存在泄漏，也能快速定位泄漏点位置，实现对真空设备泄漏状态的在线监测，提高真空设备运行安全系数与经济性。

主权项

1.一种真空设备泄漏检测及定位方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：在真空设备的外表面设置多个振动传感器，所述多个振动传感器设为星型网结构，所述振动传感器用于采集真空设备当前状态的振动信号，所述振动信号包含泄漏声信号和真空设备所处环境存在的振动信号，对所述振动信号进行分帧处理；步骤二：将每帧数据分解为不同频率范围的多个信号分量，对所述信号分量进行处理，以提取存在疑似泄漏声信号分量及疑似泄漏声频率范围；步骤三：对所述疑似泄漏声信号分量进行处理，以检测出是否存在泄漏；步骤四：存在真实泄漏时，结合振动传播实际模型和真空设备不同位置的能量耗散特征，实现泄漏点定位，具体如下：所述振动传播实际模型的建立方法为：(1)根据真空设备的几何参数，结合经典结构振动传播理论，建立所述真空设备的振动传播理论模型；(2)在所述星型网结构的中心设振动激励器，且振动激励器分别与振动传感器连接，所述振动激励器产生标准振动信号，各振动传感器分别拾取该标准振动信号；(3)从各振动传感器中分别提取频率、振动幅度作为特征参数，所述特征参数和振动传播理论模型相结合，获得振动在真空设备上的振动传播实际模型；所述真空设备不同位置的能量耗散特征的获取方法为：(1)重复进行步骤一至二，提取出真实泄漏声频率范围；(2)结合真实泄漏声频率范围和振动传播实际模型，获得位于不同位置的振动传感器所得振动信号的能量耗散特征；将所述能量耗散特征与振动传播实际模型相结合，获得振动在所述真空设备上的三维传播特征，实现泄漏点定位。