[发明专利]用于化学铣削工艺制作镀金铜带微连接线的光刻掩膜版

摘要

本发明公开了一种用于化学铣削工艺制作镀金铜带微连接线的光刻掩膜版。其掩膜版版图结构包括正方形外框以及由正方形外框的四个顶点两两相连形成的两条对角梁，由两条对角梁将正方形外框平分成四个呈等腰直角三角形的有效图形区；每个有效图形区内均设有微连接线图形；所述微连接线图形是由若干个相等宽度、相互平行且等间距设置的微连接线组成，各条微连接线均垂直于对应的有效图形区的斜边；每条微连接线的一端位于有效图形区的斜边，另一端位于有效图形区的一条直角边。本发明中的光刻掩膜版版图结构布局方式趋于合理，光刻转移图形后，再通过化学铣削工艺形成的整体微结构整体受力均匀。

主权项

1.用于化学铣削工艺制作镀金铜带微连接线的光刻掩膜版，其特征在于，所述光刻掩膜版上设有掩膜版图，该掩膜版图采用如下结构布局形式：所述掩膜版图包括正方形外框以及由正方形外框的四个顶点两两相连形成的两条对角梁，由两条对角梁将正方形外框平分成四个呈等腰直角三角形的有效图形区；每个有效图形区内均设有微连接线图形；所述微连接线图形是由若干个相等宽度、相互平行且等间距设置的微连接线组成，各条微连接线均垂直于与所述微连接线图形对应的有效图形区的斜边；每条微连接线的一端位于有效图形区的斜边，另一端位于有效图形区的一条直角边；其中，有效图形区的斜边是指正方形外框的其中一条边；有效图形区的直角边为两条对角梁的交叉点到正方形外框的其中一个顶点的连线。