[发明专利]一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法在审
| 申请号： | 201611012727.7 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN106521635A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 沈文忠;钟思华;王闻捷;谭杪;庄宇峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司31220 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法，第一步，将硅片置于含金属离子和氢氟酸的混合溶液中，使硅片表面沉积一层金属纳米颗粒，得到附有金属纳米颗粒的硅片；第二步，将附有金属纳米颗粒的硅片浸入含有添加剂的碱溶液中，在一定的温度下经过一定的反应时间形成硅纳米金字塔绒面，得到制绒的硅片；第三步，将制绒的硅片浸泡于酸性溶液中，去除表面附着的金属纳米颗粒。本发明的方法将金属颗粒用于萃取硅与碱溶液反应产生的电子，从而改变氢气泡产生位置，使得硅表面能均匀受到腐蚀，从而产生致密的纳米金字塔绒面。其工艺简单、成本低廉而且绒面效果完美，在超薄晶硅电池中具有重要应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 纳米 金字塔 溶液 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硅表面纳米金字塔绒面的全溶液制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，将硅片置于含金属离子和氢氟酸的混合溶液中，使硅片表面沉积一层金属纳米颗粒，得到附有金属纳米颗粒的硅片；第二步，将附有金属纳米颗粒的硅片浸入含有添加剂的碱溶液中，在一定的温度下经过一定的反应时间形成硅纳米金字塔绒面，得到制绒的硅片；第三步，将制绒的硅片浸泡于酸性溶液中，去除表面附着的金属纳米颗粒。
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