专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种半导体设备及其基片处理方法-CN202210349870.4在审
  • 庄宇峰;陶珩 - 中微半导体设备(上海)股份有限公司
  • 2022-04-02 - 2023-10-24 - C23C16/04
  • 一种半导体设备及其基片处理方法,半导体设备包含成核腔和至少一个处理腔,温度控制系统将成核腔维持为第一温度,将处理腔维持为第二温度,气体控制系统控制含钨气体输入成核腔执行成核工艺,气体控制系统控制不含碳及金属原子的处理气体输入处理腔对执行过成核工艺的特征区内靠近所述开口的上段执行保形抑制处理工艺,使其不阻挡所述特征区内远离开口的下段沉积。本发明在利用不同腔室实现温度分别控制的基础上,通过气体控制系统实现对不同操作工艺的压力和气体流速的调节,无需对基片的制程温度进行反复调节,保持了工艺的稳定性,节省了制程时间,实现了温度、压力、气体流速的全面调节,扩大了制程窗口,满足了制程需求。
  • 一种半导体设备及其处理方法
  • [发明专利]一种便于定位的接入式电能表一体化快装支架-CN202311070967.2在审
  • 霍政界;冯承超;胡坚中;庄宇峰;孙婧卓 - 国网江苏省电力有限公司常州供电分公司
  • 2023-08-24 - 2023-09-22 - H02B1/34
  • 本发明涉及电能表安装支架相关技术领域,具体公开了一种便于定位的接入式电能表一体化快装支架,包括电柜、设置在所述电柜内部的安装架以及安装在所述安装架中部的电能表本体,固定连接板,所述固定连接板的上下两端均固定连接有凸块,定位机构,所述定位机构对称设置在电能表本体的左右两端,固定夹,所述固定夹设置在电能表本体的下端,限位机构,所述限位机构对称设置在固定夹的左右两端。该便于定位的接入式电能表一体化快装支架,便于将电能表本体快速安装定位在安装架的中部,而且便于在电能表本体发生故障时对电能表本体进行拆卸维护检修或者更换,通过固定夹的设置,便于对线束进行分类和限位,防止线束在电柜的内部产生打结错乱。
  • 一种便于定位接入电能表一体化支架
  • [发明专利]沉积方法及衬底处理设备-CN202210118830.9在审
  • 庄宇峰;陶珩 - 中微半导体设备(上海)股份有限公司
  • 2022-02-08 - 2023-08-18 - C23C16/44
  • 本发明提供一种沉积方法,用于在沉积室中处理衬底,所述沉积室内包含室壁和工艺部件,所述方法包含如下步骤:在沉积室中执行第一沉积工艺,所述第一沉积工艺在所述工艺部件的表面和/或所述室壁的表面形成第一沉积膜,第一沉积工艺还用于在衬底上形成沉积层;执行一次或多次所述第一沉积工艺后在沉积室中执行第二沉积工艺,所述第二沉积工艺在所述第一沉积膜上形成第二沉积膜;重复上述步骤S1、S2,使所述第一沉积膜、第二沉积膜相互堆叠形成堆叠结构;其中,相邻的所述第一沉积膜与所述第二沉积膜具有不同的应力类型,以减少第一沉积膜积累的应力。本发明还提供一种衬底处理装置。
  • 沉积方法衬底处理设备
  • [发明专利]一种在高深宽比结构中沉积钨的方法及其半导体基片-CN202210786306.9在审
  • 庄宇峰;吕术亮;李远;陶珩 - 中微半导体设备(上海)股份有限公司
  • 2022-07-04 - 2022-10-11 - H01L21/768
  • 本发明公开了一种在高深宽比结构中沉积钨的方法及其半导体基片,该高深宽比结构为深宽比大于50的凹陷结构,该方法包括:第一沉积步骤,在凹陷结构的侧壁和底部沉积第一厚度的钨材料层;处理步骤,通入处理气体到基片表面,处理气体包括含氟/氯的自由基和至少含碳、硫、氮、氢或氧之一的自由基;第二沉积步骤,沉积第二厚度的钨材料层,使得凹陷结构的至少部分区域被钨填充。其优点是:其通过处理气体中的自由基在钨材料层表面形成表面键,以减缓该处后续钨材料沉积,含氟/氯自由基的刻蚀进一步避免了凹陷结构顶部开口的过早封闭,实现了凹陷结构内的缝隙下移和缩小,避免在后续CMP处理工艺中暴露缝隙,有助于提升基片的使用寿命及其电学性能。
  • 一种高深结构沉积方法及其半导体
  • [实用新型]一种插接装置-CN202220316705.4有效
  • 冯承超;闵波;庄宇峰;霍政界;洪玉娟;韩阳 - 国网江苏省电力有限公司常州供电分公司;国网江苏省电力有限公司;国家电网有限公司
  • 2022-02-17 - 2022-08-30 - H01R13/42
  • 本实用新型涉及供电机械技术领域,具体涉及一种插接装置,一种插接装置,用于和电表插接配合,以承载电表,包括基架和电插组件,基架上形成有第一承载部和承载槽,电表和第一承载部插接配合,承载槽内承载有电连接件,电插组件设置在基架的第二承载部上,电插组件包括插接头和推动件,插接头的内壁沿着轴向方向形成有至少一个燕尾槽状的限位槽,推动件上形成和限位槽对应的限位凸起,限位凸起伸入限位槽插接头的插接部插入电表上的承插孔,推动件沿着限位槽滑动以驱动插接部膨胀,解决了现有技术中驱动插接头膨胀的驱动件在滑动中没有被限位而发生错误偏摆,导致插接头与电表的插接配合错位的技术问题。
  • 一种插接装置
  • [发明专利]一种安装装置-CN202210144171.6在审
  • 庄宇峰;冯承超;闵波;孙宇;梅道珺;钱炜妍 - 国网江苏省电力有限公司常州供电分公司;国网江苏省电力有限公司;国家电网有限公司
  • 2022-02-17 - 2022-07-01 - G01R11/04
  • 本发明涉及用电机械技术领域,具体涉及一种安装装置,安装装置包括承载架、插接膨胀件、第一驱动杆、第二驱动杆和弹性件,承载架承载电表,插接膨胀件装配在承载架上,第一驱动杆连接有电压连片,第一驱动被驱动件借助连杆组件运动,以使电压连片和紧固件形成电连接,同时驱动件驱动插接膨胀件进行膨胀动作以和电表形成电连接,第二驱动杆连接有电流连片,第二驱动杆滑动装配在承载架的第二安装通道内,第一驱动杆的运动驱动第二驱动杆同步运动,以使电流连片和紧固件形成电连接,解决了现有技术中螺栓固定导电片和导线的过程繁琐复杂,出现错接和漏接时,使得电表和电插件在带电中接通,导致电压互感器和电流互感器等零件烧毁的技术问题。
  • 一种安装装置

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