[发明专利]反转色调图案化的方法有效
| 申请号： | 201611011752.3 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN106707686B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | N·昆斯纳塔迪诺夫;D·L·拉巴拉克 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及反转色调图案化的方法。反转具有非均匀尺寸的特征件的图案的色调的方法。该方法包括在图案化层之上沉积高度保形的硬掩模层，具有不平坦的保护涂层，以及用于使关键尺寸变化最小化的刻蚀方案。 | ||
| 搜索关键词： | 反转 色调 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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