[发明专利]一种炉腔可更换的晶体提拉炉有效
| 申请号： | 201611002292.8 | 申请日： | 2016-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN106435712B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 董春明 | 申请（专利权）人： | 济南金曼顿自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 250019 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种炉腔可更换的晶体提拉炉，包括炉腔、旋转提拉称重单元、保温热场和坩埚，保温热场置于炉腔内，坩埚置于保温热场中，旋转提拉称重单元置于炉腔上方，籽晶杆置于炉腔内，并与旋转提拉称重单元连接；炉腔包括上法兰盘、下法兰盘和腔体，腔体置于上法兰盘和下法兰盘之间，腔体内部或外围设置有加热装置，腔体与上法兰盘和下法兰盘之间均设置有密封装置。所述炉腔内设置有升降装置，升降装置固定在下法兰盘上，所述保温热场和坩埚置于该升降装置上。该晶体提拉炉的炉腔可以进行调整更换，可以适用于更多尺寸晶体的生长，结构简单，组装方便，便于维护，耗能低。此外，通过升级装置可使坩埚处于最佳温度场中，提高晶体生长效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 炉腔可 更换 晶体 提拉炉 | ||
【主权项】：
1.一种炉腔可更换的晶体提拉炉，包括炉腔、旋转提拉称重单元、保温热场和坩埚，保温热场置于炉腔内，坩埚置于保温热场中，旋转提拉称重单元置于炉腔上方，籽晶杆置于炉腔内，并与旋转提拉称重单元连接；其特征是：炉腔包括上法兰盘、下法兰盘和腔体，腔体置于上法兰盘和下法兰盘之间，腔体内部或外围设置有加热装置，腔体与上法兰盘和下法兰盘之间均设置有密封装置；所述腔体与上法兰盘和下法兰盘之间的密封装置，包括套装在腔体上部的上密封圈和套装在腔体下部的下密封圈，上密封圈通过上压环压在上法兰盘上，下密封圈通过下压环压在下法兰盘上；所述上法兰盘和下法兰盘上加工有呈同心圆分布的螺纹孔或所述上法兰盘和下法兰盘上加工有呈同心圆分布的定位槽。
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