[发明专利]一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201611000288.8 | 申请日： | 2016-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN108069715B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 邹赫麟;许文才;李奇;周毅;王文强;韩梅 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学;珠海赛纳三维科技有限公司 |
| 主分类号： | H01B3/12 | 分类号： | H01B3/12;C04B35/493;C04B35/624 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 陶敏;黄健 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
本发明提供一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法。本发明的具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜的制备方法，包括如下顺序进行的步骤：1)以乙酸铅、硝酸钆、硝酸锆和钛酸四丁酯为原料，乙二醇甲醚为溶剂，乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂，制备化学式为Pb |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 100 取向 掺钆锆钛酸铅 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下顺序进行的步骤：1)以乙酸铅、硝酸钆、硝酸锆和钛酸四丁酯为原料，乙二醇甲醚为溶剂，乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂，制备化学式为Pb1-x Gdx (Zry Ti1-y )O3 的掺钆锆钛酸铅前驱体溶液，其中x为0.01-0.05，y为0.52-0.53，乙酰丙酮与甲酰胺的摩尔比为(0.80-1.50)：(2.00-2.55)；2)将所述掺钆锆钛酸铅前驱体溶液沉积在衬底上，热处理，得到具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜，其中热处理包括：先在150-180℃下快速干燥，然后在350-450℃下热分解，再在600-700℃退火处理。
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