[发明专利]一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法

摘要

本发明公开了一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法，使用zemax软件搭建干涉仪模型，在干涉仪模型中，利用matlab软件模拟驱动待测非球面镜轴向移动，对光线进行追迹、拟合和逆追迹，消除镜头畸变对光线追迹效果的影响，最终建立起待测非球面镜与CCD像元之间的物像关系，从而得到随着扫描的进行不断变化的一系列干涉图，提高了仿真的科学性。

主权项

1.一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法，其特征在于，方法步骤如下：/n步骤一、搭建干涉仪模型：/n用zemax软件搭建干涉仪模型，所述干涉仪模型包括偏振片（1）、光源扩束镜（2）、偏振分光镜（3）、四分之一波片（4）、准直透镜组（5）、标准球面透镜组（6）、待测非球面镜（7）、小孔光阑（8）、成像透镜组（9）和CCD（10）；共光轴依次设置CCD（10）、成像透镜组（9）、小孔光阑（8）、偏振分光镜（3）、四分之一波片（4）、准直透镜组（5）、标准球面透镜组（6）和待测非球面镜（7），光源扩束镜（2）位于偏振分光镜（3）的入射光路上；标准球面透镜组（6）中与待测非球面镜（7）相邻的标准球面透镜出射面上镀有半透半反膜；/n经偏振片（1）和光源扩束镜（2）扩束后的激光光源被偏振分光镜（3）反射，反射光透过四分之一波片（4）和准直透镜组（5）出射后形成平面光波，平面光波入射至标准球面透镜组（6），经标准球面透镜组（6）中的半透半反膜，一部分光线经反射后原路返回，依次经过准直透镜组（5）、四分之一波片（4）、偏振分光镜（3）、小孔光阑（8）、成像透镜组（9），到达CCD（10）靶面上，形成参考光；另一部分光线经透射后，到达待测非球面镜（7），光线经待测非球面镜（7）反射后，再依次经过标准球面透镜组（6）、四分之一波片（4）、准直透镜组（5）、偏振分光镜（3）、小孔光阑（8）、成像透镜组（9），到达CCD（10）靶面上，形成测试光；/n步骤二、建立通信：/n对matlab软件与zemax软件建立通信，将待测非球面镜（7）放在光轴上的初始位置；/n步骤三、用zemax软件对待追迹的光线进行追迹：/n在经过光源扩束镜（2）之前的入射光源平面上建立xy坐标系，然后确定待追迹的光线数目，用zemax软件对光线进行追迹，分别得到光线经过参考光路和测试光路到达CCD（10）靶面上的位置（x＇，y＇）；/n步骤四、拟合：/n对于参考光路和待测光路，分别拟合，得到：/n参考光路关系式 （X，Y）