[发明专利]间歇式光照氯化生产光纤级四氯化硅的装置及方法

摘要

本发明公开了一种间歇式光照氯化生产光纤级四氯化硅的装置及方法，该装置包括依次设置的紫外光照氯化系统、板式精馏塔、脱轻塔、脱重塔和产品储存罐；其中紫外光照氯化系统为两套，并联设置且与板式精馏塔的进料口连接，该装置还包括在线检测系统。其以多晶硅副产的四氯化硅为原料，经过过滤去掉四氯化硅中的少量固体杂质后进入紫外光照氯化系统，经过光照氯化系统后经过板式精馏塔去掉溶解在四氯化硅中的氯气，然后分别经过脱轻塔、脱重塔分别去掉四氯化硅中的轻组分和重组分，并采用在线检测系统是在生产过程中对产品质量进行实时监控，保证产品的高合格率。本发明能够有效的去除四氯化硅中的有机杂质，使产品达到光纤级的质量标准。

主权项

1.一种光纤级四氯化硅的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：1）以多晶硅副产的四氯化硅为原料，过滤除去其中的固体杂质，然后通入紫外光照氯化系统，并向其中通入氯气，半小时以后开启紫外灯进行光照反应，反应时间为4‑8小时；2）将经过紫外光照反应的四氯化硅输送到板式精馏塔中进行脱氯处理；在常压下进行操作，质量回流比为4‑8:1；3）将脱氯处理的四氯化硅依次输送到脱轻塔和脱重塔中，通过精馏依次去除轻组分和重组分；在精馏过程中，对每个塔的成品进行傅里叶红外检测，检测合格后才能进入下一反应；最后得到的光纤级四氯化硅；所述步骤1）中，设置两套紫外光照氯化系统，其中一套进行光照反应时，另一套反应完毕的与步骤2）中的板式精馏塔连通进行后续反应，且步骤1）中，进行紫外光照时，紫外灯的波长在250‑380nm之间，紫外灯为1.5kw‑3kw的汞灯；氯气的通入量为4‑10m3/h，纯度要求在99.9%以上；采用上述方法进行间歇式光照氯化生产光纤级四氯化硅的装置，包括依次设置的紫外光照氯化系统、板式精馏塔、脱轻塔、脱重塔和产品储存罐；其中紫外光照氯化系统为两套，并联设置且与板式精馏塔的进料口连接，该装置还包括在线检测系统，其与其他设备的采出口进行连接；所述板式精馏塔为板式结构塔，其塔板数大于50，塔顶为氯气排放口，四氯化硅物料从塔的中下部采出；脱轻塔和脱重塔为填料塔，其理论塔板数大于100。