[发明专利]一种微透镜扫描装置

摘要

本发明公开了一种微透镜扫描装置，主要包括安装壳体、二维集成式工作台、正微透镜阵列镜片、负微透镜阵列镜片；二维集成式工作台为二维微位移平台，正微透镜阵列镜片安装于安装壳体上,负微透镜阵列镜片安装于二维集成式工作台上，二维集成式工作台用于带动负微透镜阵列实现微米级的上下左右移动；当未扫描时，正微透镜阵列和负微透镜阵列的光轴平行；当正微透镜阵列相对于负微透镜阵列向上偏移时，偏移量不大于单个负微透镜半径；当负微透镜阵列相对于正微透镜阵列向下偏移时，偏移量不大于单个负微透镜半径。应用本发明,只需微米级的位移就能达到较大角度的扫描视场，具有体积小、扫描位移小、扫描角度大、功耗小、集成度高的特点。

主权项

一种微透镜扫描装置，其特征在于，包括安装壳体、二维集成式工作台、正微透镜阵列镜片、正微透镜阵列安装工装、负微透镜阵列镜片、负透镜阵列安装工装和镜片压环；二维集成式工作台为二维微位移平台，其安装于安装壳体上；正微透镜阵列镜片通过正微透镜阵列安装工装和镜片压环安装于安装壳体上；负微透镜阵列镜片通过负透镜阵列安装工装和镜片压环安装于二维集成式工作台上，二维集成式工作台用于带动负微透镜阵列实现微米级的上下左右移动；当未扫描时，正微透镜阵列和负微透镜阵列的光轴平行；当正微透镜阵列相对于负微透镜阵列向上偏移时，偏移量不大于单个负微透镜半径，此时扫描光束向下方偏移；当负微透镜阵列相对于正微透镜阵列向下偏移时，偏移量不大于单个负微透镜半径，此时扫描光束向上方偏移。