[发明专利]压电元件及其制造方法、超声波探测器、超声波测定装置在审
申请号: | 201610950546.2 | 申请日: | 2016-10-26 |
公开(公告)号: | CN106876575A | 公开(公告)日: | 2017-06-20 |
发明(设计)人: | 山崎清夏;田村博明 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/113 | 分类号: | H01L41/113;H01L41/47 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 田喜庆,吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供压电元件及其制造方法、超声波探测器、超声波测定装置。压电元件具备压电体;以及振动板,将具有杨氏模量相对高的高杨氏模量取向与杨氏模量相对低的低杨氏模量取向的各向异性的单晶硅作为振动用材料,所述压电体和所述振动板以使所述低杨氏模量取向处于沿着根据所述压电体的支承构造产生的伸缩程度相对高的高伸缩方向与伸缩程度相对低的低伸缩方向中的高伸缩方向的方向上的方式层叠。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 及其 制造 方法 超声波 探测器 测定 装置 | ||
【主权项】:
一种压电元件,其特征在于,具备:压电体;以及振动板,将具有杨氏模量相对高的高杨氏模量取向与杨氏模量相对低的低杨氏模量取向的各向异性的单晶硅作为振动用材料,所述压电体和所述振动板以使所述低杨氏模量取向处于沿着根据所述压电体的支承构造产生的伸缩程度相对高的高伸缩方向与伸缩程度相对低的低伸缩方向中的高伸缩方向的方向上的方式层叠。
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