[发明专利]一种扫描反射镜及其扫描方法有效
申请号: | 201610920816.5 | 申请日: | 2016-10-21 |
公开(公告)号: | CN106526834B | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 罗栋;熊小刚;陈四海;李鹏;郑富瑜;梁增基 | 申请(专利权)人: | 深圳市微觉未来科技有限公司 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种扫描反射镜,包括激光反射模块和激光反馈模块;所述激光反射模块用于对激光进行反射;所述激光反馈模块通过对扫描反射镜幅度和频率的反馈补偿,实现扫描反射镜在固定扫描幅度和固定频率下工作;本发明还公开了该扫描反射镜的扫描方法。本发明的扫描反射镜的扫描角度大,可以满足正负15°的光学扫描,扫描频率>300Hz;扫描反射镜的镜面尺寸≥10mm×10mm;并且可以实现扫描反射镜在固定扫描幅度和固定频率下工作。 | ||
搜索关键词: | 扫描反射镜 扫描 固定频率 激光反馈 激光反射 扫描幅度 反馈补偿 光学扫描 扫描频率 镜面 反射 激光 | ||
【主权项】:
1.一种扫描反射镜,其特征在于,包括激光反射模块(140)和激光反馈模块(130);所述激光反射模块(140)用于对激光进行反射;所述激光反馈模块(130)通过对扫描反射镜幅度和频率的反馈补偿,实现扫描反射镜在固定扫描幅度和固定频率下工作;所述激光反射模块(140)包括线圈(141)、底座(146)、转轴(149)和反射镜(148),所述线圈(141)通过线圈支架(142)固定于所述底座(146)的上表面,所述反射镜(148)固定于所述底座(146)的下表面,所述底座(146)侧边设置有转轴(149),所述转轴(149)与所述线圈(141)所在平面相互垂直,所述反射镜(148)在所述线圈(141)通电状态下绕所述转轴(149)偏转;所述激光反馈模块(130)包括半导体激光器(131)、光探测器(132)和小孔(143),所述半导体激光器(131)用于发射激光,所述光探测器(132)用于接收激光;所述半导体激光器(131)、光探测器(132)以及小孔(143)设置于同一条直线上,所述半导体激光器(131)与所述光探测器(132)同轴设置,所述半导体激光器(131)和所述光探测器(132)分别设置于所述小孔(143)的两侧。
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