[发明专利]一种用于薄膜蒸镀的装置在审
| 申请号： | 201610895846.5 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN107955935A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 董国材;唐琪雯;张祥 | 申请（专利权）人： | 江南石墨烯研究院;常州碳维纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213149 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜蒸镀的装置，由真空腔体、蒸发源、样品台、冷凝装置、真空获得装置、供气装置及插板阀组成。本发明采用不锈钢腔壁，使用分子泵+机械泵的抽气装置，本底真空可达到10‑8mbar，充分减少杂质气体分子对蒸镀过程造成的影响。蒸发源最高可加热至1900℃，坩埚用于放置待蒸镀样品，体积最高可达 5 ml。可用于多种金属薄膜的蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
一种用于蒸镀的装置，其特征在于，所述装置由真空腔体（1）、蒸发源（2）、样品台（4）、冷凝装置、真空获得装置、供气装置及插板阀（14）组成。
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