[发明专利]一种LC‑SLM误差补偿方法及其非球面面型检测方法

摘要

本发明涉及光学非球面精密测量领域，涉及了一种基于LC‑SLM误差补偿和数字相移技术的非球面面型检测方法。利用ZEMAX软件光学追迹得到光学系统的理想波像差，采用一系列正交Zernike多项式表征其波像差，得到对应的计算全息图，并加载到LC‑SLM上，利用残差迭代法，降低了LC‑SLM曲率误差和边缘场效应等因素带来的影响，提高了LC‑SLM的波前模拟精度，结合起补偿作用的会聚透镜和数字相移及干涉条纹分析技术，大大提高了测量的动态范围，可以实现对大非球面度面型的实时检测。

主权项

一种LC‑SLM误差补偿方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)利用光线追踪采用一系列正交Zernike多项式的线性组合表征光学系统的理想波像差；(2)将步骤(1)得到的理想波像差对应的全息图加载到LC‑SLM上，搭建标准的泰曼‑格林干涉光路，其中一个光臂经标准平面镜反射回的光作为参考光，另一个光臂中经反射式空间光调制器反射回来的光作为物光；(3)利用标准的泰曼‑格林干涉光路采集干涉条纹，然后根据该干涉条纹获取与其对应的第一次波像差，将该第一次波像差与理想波像差做差，得到残余误差，取共轭并转化为灰度图，将该灰度图叠加到第一次获取的波像差对应的灰度图上，生成新的全息图后加载到LC‑SLM上，得到第二次的波像差，如此迭代直至残差迭代符合精度要求。