[发明专利]基于共形石墨烯的电容式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了基于共形石墨烯的电容式压力传感器及其制备方法。该传感器其为平板式结构，自上而下依次为石墨烯电极层、介质层和石墨烯电极层三个主要层，其中上下两个石墨烯电极层中一个或两个为共形石墨烯透明导电薄膜。共形石墨烯透明导电薄膜是通过共形转移方法，将具有三维微观结构金属表面上的共形石墨烯转移至聚合物弹性体表面上得来。共形石墨烯既是电极层，又是压力感应层，其表面上的三维微观结构用来感应触碰压力所引起的局部形变，该微观结构增加了电容式压力传感器的触点，提高了压力灵敏度。三维微观结构之间存在大量孔隙，增加了弹性体的挤压空间，增大了压力测试范围，具有结构简单，造价低，透明、柔性，易于加工等特点。

主权项

一种基于共形石墨烯的电容式压力传感器，其特征在于，该传感器为平板式结构，自上而下依次为石墨烯电极层、介质层和石墨烯电极层三个主要层；所述石墨烯电极层为共形石墨烯透明导电薄膜或石墨烯透明导电薄膜，且上下两个石墨烯电极层中的一个或两个为共形石墨烯透明导电薄膜；所述共形石墨烯透明导电薄膜由聚合物弹性体和附着其表面上的共形石墨烯组成；所述石墨烯透明导电薄膜由平面聚合物弹性体和附着其表面上的石墨烯薄膜组成；所述介质层和聚合物弹性体均为透明结构，且保持平整。