[发明专利]一种SUS无连接蚀刻生产工艺有效
| 申请号： | 201610851567.9 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN106521500B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 夏玉龙;杨海涛 | 申请（专利权）人： | 昆山维嘉益材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 徐萍 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种SUS无连接蚀刻生产工艺，包括以下具体步骤：前处理、涂布、烘烤、曝光、显影、烘烤、蚀刻、覆膜、蚀刻、去膜、烘烤、覆膜、去膜和烘烤。通过上述方式，本发明提供一种SUS无连接蚀刻生产工艺，针对现有SUS微连接蚀刻的折断毛刺问题，本发明改进工艺使无连接蚀刻取代传统微连接蚀刻工艺，能有效地避免传统微连接产生的折断毛刺，较好地优化产品质量，提高良品率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sus 连接 蚀刻 生产工艺 | ||
【主权项】：
1.一种SUS无连接蚀刻生产工艺，其特征在于，包括以下具体步骤：a、前处理，使用3%硫酸快速清洗SUS；b、涂布，在SUS表面涂布油墨感光剂；c、烘烤，对SUS表面的油墨感光剂烘烤定型；d、曝光，根据生产需要，对定型的油墨感光剂进行曝光处理；e、显影，使用显影液对曝光后的SUS进行冲洗；f、烘烤，将显影后的SUS烘烤定影；g、蚀刻，对定影后的SUS蚀刻处理；h、覆膜，将覆膜材料贴合在蚀刻成型的SUS表面；i、蚀刻，二次蚀刻，去除毛边和连接；j、去膜，使用去膜液去除覆膜；k、烘烤，烘干SUS表面液体。
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