[发明专利]一种基于石英晶体微天平的晶片装夹装置有效
| 申请号： | 201610803071.4 | 申请日： | 2016-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN106441524B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 董瑛;张旭东;王晓浩 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01G3/16 | 分类号： | G01G3/16 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石英晶体微天平的晶片装夹装置，涉及石英晶体微天平装夹技术领域，包括底座和凸设于所述底座上的凸台，所述凸台上设有装夹组件，所述装夹组件包括开设于所述凸台上的固定槽，和立式设置于所述凸台上的定位台，以及倾斜设于所述凸台上的弹性探针，所述定位台的顶端设有开口，通过所述固定槽的固定作用、定位台的立式定位作用和弹性探针的夹紧作用实现装夹。本发明通过立式设置石英晶片，结合定位台、固定槽及倾斜设置的弹性探针，使得石英晶片的装夹、拆卸更为便捷，装夹的结构更为简单，避免过多的结构改变对检测环境的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石英 晶体 天平 晶片 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于石英晶体微天平的晶片装夹装置，包括底座和凸设于所述底座上的凸台，其特征在于：所述凸台上设有装夹组件，所述装夹组件包括开设于所述凸台上的固定槽，和立式设置于所述凸台上的定位台，以及倾斜设于所述凸台上的弹性探针，所述定位台的顶端设有开口，通过所述固定槽的固定作用、定位台的立式定位作用和弹性探针的夹紧作用实现石英晶片的装夹；所述弹性探针实现石英晶片的固定以及晶振信号的有效传输。
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