[发明专利]一种自动光学检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201610795343.0 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107782738A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 胡宇华;张鹏黎;王帆;徐文 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种自动光学检测装置及其检测方法。一种自动光学检测装置，包括工件台，作为控制中心的工控机，用于明场光源光路的第一光源，用于暗场光源光路的第二光源，用于明场的第一图像采集器，用于暗场的第二图像采集器，以及设置在明场光源光路中并通过同步控制系统控制的电动快门，且电动快门通过工控机指令同步控制系统在用于暗场光源光路的第二光源点亮前关闭明场光源光路。本发明通过在明场光源光路中设置由同步控制系统控制的电动快门，且电动快门通过工控机指令同步控制系统在用于暗场光源光路的所述第二光源点亮前关闭所述明场光源光路，不仅有效的消除了余辉效应，而且进一步提升了暗场采集图像的精确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 光学 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种自动光学检测装置，其特征在于，所述自动光学检测装置，包括：用于设置待光学检测之器件的工件台，且所述工件台在外界驱动装置的作用下按预设轨迹运行；作为自动光学检测装置之控制中心的工控机；用于明场光源光路的第一光源；用于暗场光源光路的第二光源；用于明场的第一图像采集器，且所述第一图像采集器在第一光源条件下进行待光学检测之器件的图像采集；用于暗场的第二图像采集器，且所述第二图像采集器在第二光源条件下进行待光学检测之器件的图像采集；以及设置在所述明场光源光路中并通过一同步控制系统控制的电动快门，且所述电动快门通过所述工控机指令所述同步控制系统在用于暗场光源光路的所述第二光源点亮前关闭所述明场光源光路。
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