[发明专利]一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法

摘要

本发明为一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法，本装置激光刻蚀工作台上固定支撑箱体，固定于推杆顶端的托板夹具固定工件。与凸轮电机连接的凸轮轴与推杆垂直，套在推杆外的弹簧上端与支撑箱体固连，下端固连推杆底端，使推杆底端抵于凸轮侧面。固定于支撑箱体的凸轮轴轴套上安装位置传感器。凸轮长短径的差为激光刻蚀的最大深度。本使用方法加工开始激光聚焦于工件表面，控制中心据位置传感器信号掌握凸轮当前状态，控制电机，使凸轮短长径侧面轮流与推杆底端接触，工件随工作台沿切削路径步进，同时上下振动，激光束在工件上的烧蚀点始终处于激光聚焦的位置。振动还加速切槽中的残渣碎屑的排出，带走大量的热，提高激光刻蚀效率和质量。

主权项

一种激光刻蚀的上下振动辅助装置，包括激光器与聚焦透镜(1)，固定工件(3)的夹具(4)及工作台(18)，所述工作台(18)为三维工作台，还包括控制中心，控制中心与激光控制器及工作台控制装置连接，其特征在于：所述工作台(18)上固定支撑箱体(13)，托板(5)固定于竖直的推杆(6)顶端，水平的托板(5)上有将工件(3)固定于托板(5)上的夹具(4)；固定安装凸轮(15)的凸轮轴(10)与推杆(6)垂直，凸轮轴(10)两端可转动地安装于支撑箱体(13)的侧壁上，凸轮电机(9)驱动连接凸轮轴(10)，弹簧(7)套在推杆(6)外，弹簧(7)上端与支撑箱体(13)固定连接，下端固定连接推杆(6)底端，弹簧(7)的张力使推杆(6)底端始终抵于凸轮(15)侧面；凸轮轴(10)有轴套(11)，轴套(11)固定于支撑箱体(13)，位置传感器(8)安装在凸轮轴(10)的轴套(11)上,位置传感器(8)的输出信号接入控制中心；所述控制中心的输出端还连接凸轮电机(9)；所述凸轮(15)的长径(R0)和短径(R)的差(ΔR)等于激光刻蚀的最大深度(h)；开始刻蚀加工时，凸轮(15)短径侧面与推杆(6)底端接触，激光束(2)聚焦于工件(3)表面；加工过程中当激光刻蚀达到最大深度(h)时，凸轮(15)长径侧面与推杆(6)底端接触。