[发明专利]一种真空温场测量装置及测量方法

摘要

一种多点式真空温场测量装置及测量方法，包括多个测温热电偶、法兰盘、法兰压框；所述法兰盘匹配待测温真空设备的真空腔室的法兰孔，法兰盘上开设与测温热电偶数量对应的法兰盘螺纹孔，将测温热电偶依次旋入法兰盘螺纹孔中，并将偶丝端部固定在真空腔室中所需要的测温点上；安装热电偶后的法兰盘用法兰压框通过压紧螺钉安装在腔室法兰口，法兰盘与腔室壁间安装法兰O型圈；热电偶电源线连接至无纸记录仪上。本发明能适应不同法兰尺寸条件下的温场测定，可针对需求安装不同数量热电偶进行测温工作，有利于在单个热电偶损坏时只需更换单根热电偶，减少损失，且能更好的适应不同大小空间真空腔室的测温需求。

主权项

1.一种基于多点式真空温场测量装置的真空温场测量方法，所述多点式真空温场测量装置包括多个测温热电偶、法兰盘、法兰压框，所述测温热电偶包括电源线、热电偶法兰、锁紧螺母及偶丝，热电偶法兰与偶丝一端密封焊接为整体，热电偶法兰下端面设置有密封圈槽，在密封圈槽内嵌入测温热电偶O型圈；热电偶法兰与偶丝焊接部设置有一空心圆柱体，空心圆柱体外表面设置有与锁紧螺母相匹配的螺纹，所述偶丝穿过空心圆柱体后焊接在热电偶法兰上，并通过锁紧螺母固定；所述电源线与焊接在热电偶法兰上的偶丝一端相连，所述法兰盘匹配待测温真空设备的真空腔室的法兰孔，法兰盘上开设与测温热电偶数量对应的法兰盘螺纹孔，将测温热电偶依次通过热电偶的锁紧螺母外表面的螺纹旋入法兰盘螺纹孔，并将偶丝端部固定在真空腔室中所需要的测温点上；安装热电偶后的法兰盘用法兰压框通过压紧螺钉安装在腔室法兰口，法兰盘与腔室壁间安装法兰O型圈，热电偶电源线连接至无纸记录仪上；其特征在于，所述测量方法包括以下步骤：步骤1、将测温热电偶O型圈用蘸酒精无尘布擦拭干净；步骤2、将测温热电偶O型圈槽用蘸酒精无尘布擦拭干净；步骤3、将热电偶O型圈嵌入测温热电偶的O型圈槽中；步骤4、将法兰盘用蘸酒精无尘布擦拭；步骤5、将已装配测温热电偶O型圈的测温热电偶配置在法兰上；步骤6、重复步骤1～5，装配好其余所需的测温热电偶；步骤7、将装配好测温热电偶的法兰装配至需测温真空腔室预留的法兰孔；步骤8、在真空腔室中所需测温区域放置样品；步骤9、根据不同偶丝长度，将偶丝端部放置在样品的所需测温点上；步骤10、将所有热电偶电源线连接至无纸记录仪上，并记录对应的偶丝端部位置及无纸记录仪所对应的编号；步骤11、将已安装好的一个热电偶偶丝端部进行烘烤，观察各个测温热电偶对应的无纸记录仪所示温度值变化，判断偶丝及无纸记录仪无故障；步骤12、将真空腔室抽真空，升温至待测温真空设备所需测量温度范围，根据无纸记录仪所显示的温度，对不满足所需测量温度范围的相应偶丝端部所在区域的温度进行调节，最终使得各测温点温度在待测温真空设备所需温度范围内。