[发明专利]光刻机的温度变频调节系统及调节方法在审
| 申请号： | 201610723913.5 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN106292774A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 黄建 | 申请（专利权）人： | 志圣科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙)44295 | 代理人： | 任琳 |
| 地址： | 510850 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机的温度变频调节系统，包括水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室的入口处，光刻室与热交换室相邻，光刻室的入口与热交换室的入口相对，温度传感器设于光刻室内，温度传感器连接至控制器。本发明的光刻机的温度变频调节系统可保证光刻机的光刻精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 温度 变频 调节 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机的温度变频调节系统，其特征在于，包括：水泵、风机、热交换器、过滤器、温度传感器和控制器，风机设于光刻机的热交换室的入口处，热交换器设于光刻机的热交换室内，热交换器的进水端通过伸出热交换室的管道连接至水泵，过滤器设于光刻机的光刻室的入口处，光刻室与热交换室相邻，光刻室的入口与热交换室的入口相对，温度传感器设于光刻室内，温度传感器连接至控制器。
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