[发明专利]微细机械装置有效
| 申请号： | 201610715076.1 | 申请日： | 2016-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN106477509B | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 添田将;石原卓也;关根正志;栃木伟伸 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千代田*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明在使用高绝缘性基材的微细机械装置中获得有效的防粘连对策。本发明于在形成有凸部(104)的区域(122)内相对的基板(101)侧那一面(101a)及可动部(103)侧那一面(103a)设置导电体(107(107a))及(108(108a))。设置在基板(101)侧那一面(101a)的导电体(107)设为独立的导电体，所述独立的导电体是在基板(101)的面(101a)上所形成的电极(105)上设置间隙(h)而使得周围被包围而成。将包围该独立的导电体(独立导电体)(107)的周围的间隙(环状间隙)(h)设为表面电阻为防静电级(109～1014Ω/□)的防静电层(109)。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 机械 装置 | ||
【主权项】：
一种微细机械装置，其特征在于，包括：基板，其由绝缘体构成；可动部，其通过支承部支承在所述基板上，在可动区域内与所述基板隔开配置，且能够在所述可动区域内朝所述基板方向位移，所述可动部由绝缘体构成；凸部，其形成于在所述可动区域内相对的所述基板及所述可动部中的至少一方的表面；电极，其形成于在所述可动区域内相对的所述基板及所述可动部各自的表面；以及导电体，其设置于在形成有所述凸部的区域内相对的所述基板侧那一面及所述可动部侧那一面，设置在所述基板侧那一面及所述可动部侧那一面的导电体中的至少一方设为独立导电体，所述独立导电体是在设置有该导电体的所述基板或所述可动部的表面上所形成的电极上设置间隙而使得周围被包围而成，包围所述独立导电体的周围的所述间隙设为表面电阻为防静电级的防静电层。
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