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- [发明专利]压力传感器-CN202211365669.1在审
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松仪泰明;石原卓也;添田将;关根正志;新村悠祐
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阿自倍尔株式会社
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2022-10-31
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2023-05-09
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G01L11/00
- 本发明减少因来自被测定流体的热传递引起的传感器膜片的变形，并且使传感器元件的支承结构小型化。压力传感器的传感器元件(40)具备：因流入到流入空间(R2)的被测定流体的压力而变形的传感器膜片(41)以及支承传感器膜片的环状的支承部(42)。支承传感器元件(40)的支承结构(70)具备从流入空间(R2)侧覆盖传感器膜片的板状构件(72)以及配置在传感器元件与板状构件之间的间隔件(73)。板状构件(72)具备将被测定流体导入到传感器膜片侧的导入孔(72A)，间隔件具备固定在支承部上的环状部(73A)；从环状部伸出并与导入孔相对的相对部(73B)；以及在俯视时在环状部(73A)的内侧与传感器膜片重叠的贯通孔(73C)。
- 压力传感器
- [发明专利]压力传感器-CN202211334799.9在审
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添田将;石原卓也;关根正志
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阿自倍尔株式会社
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2020-06-17
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2023-01-13
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G01L7/08
- 本发明的压力传感器减少沉积物对压力传感器的膜片的影响。本发明具备：可动电极(104)，其形成于膜片(102)的可动区域(102a)内；以及固定电极(105)，其以与可动电极(104)相对的方式形成。膜片(102)的受压面呈惰性状态。膜片(102)的呈惰性的受压面呈不易吸附上测定对象气体的分子的状态。能够通过规定的表面处理使膜片(102)的受压面成惰性。通过表面处理，形成使膜片(102)的受压面成惰性的层，该层的存在使得膜片(102)的受压面成惰性。
- 压力传感器
- [发明专利]压力传感器-CN202010553359.7有效
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添田将;石原卓也;关根正志
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阿自倍尔株式会社
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2020-06-17
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2022-11-22
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G01L7/08
- 本发明的压力传感器减少沉积物对压力传感器的膜片的影响。本发明具备：可动电极(104)，其形成于膜片(102)的可动区域(102a)内；以及固定电极(105)，其以与可动电极(104)相对的方式形成。膜片(102)的受压面呈惰性状态。膜片(102)的呈惰性的受压面呈不易吸附上测定对象气体的分子的状态。能够通过规定的表面处理使膜片(102)的受压面成惰性。通过表面处理，形成使膜片(102)的受压面成惰性的层，该层的存在使得膜片(102)的受压面成惰性。
- 压力传感器
- [发明专利]压力传感器-CN201910782596.8有效
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添田将;石原卓也;关根正志
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阿自倍尔株式会社
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2019-08-23
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2022-02-25
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G01L1/14
- 本发明提供一种压力传感器，其能够改善引起测量误差的带电的问题和异物堆积的问题。压敏电极(104)由配置在压力室(103)的中央部的中央部分(141)和从中央部分(141)向远离中心部的方向呈放射状地延伸的多个叶片部(142)构成，参考电极(105)由配置在压力室(103)的周缘部的周缘部分(151)和从周缘部分(151)起的多个突入部分(152)构成。多个突入部分(152)配置成进入多个叶片部(142)之间的区域的状态，多个叶片部(142)和多个突入部分(152)配置成咬合的状态。
- 压力传感器
- [发明专利]压力传感器-CN202010704076.8在审
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石原卓也;添田将;关根正志
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阿自倍尔株式会社
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2020-07-21
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2021-02-09
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G01L7/08
- 本发明的课题在于进一步降低堆积物对压力传感器的膜片的影响。本发明的压力传感器具备在膜片(102)的可动区域(102a)上形成的可动电极(104)和与可动电极(104)相对地形成的固定电极(105)。膜片(102)的受压面由难以吸附气体分子的材料构成。可以是膜片(102)的整体由难以吸附气体分子的材料构成，也可以是膜片(102)的受压面的表面由难以吸附气体分子的材料构成。构成膜片(102)的材料为氮化物、硼化物、碳化物中的至少一种。
- 压力传感器
- [发明专利]静电电容型压力传感器-CN201810150370.1有效
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石原卓也;添田将;关根正志
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阿自倍尔株式会社
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2018-02-13
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2020-12-18
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G01L9/12
- 本发明的静电电容型压力传感器尤其减少CVD工艺特有的污染物质的堆积现象所引起的不良状况。本发明在压力导入室(36)内设置有挡板(39)，其一侧的板面(39a)和与从压力导入孔(22a)导入的被测定介质的行进方向正交的方向相对。使传感器膜片(31)的受压面(31a)和与该受压面(31a)相对的压力导入室(36)的内表面(36a)之间的距离(L1)、以及传感器膜片(31)的受压面(31a)和与该受压面(31a)相对的挡板(39)的另一侧的板面(39b)之间的距离(L2)在传感器膜片(31)的受压面(31a)的所有区域内小于被测定介质的平均自由程λ(L1、L2＜λ)。
- 静电电容压力传感器
- [发明专利]压力传感器-CN201810191413.0有效
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关根正志;石原卓也;添田将;栃木伟伸
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阿自倍尔株式会社
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2018-03-08
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2020-04-24
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G01L9/12
- 本发明涉及压力传感器，能够检测从用于导入测定对象的压力的配管传递到压力传感器的检测部的热的变动。通过温度差计算部(107)求出由第1温度测定机构(103)测定出的温度与由第2温度测定机构(106)测定出的温度的温度差。第1温度测定机构(103)设置于内侧容器(201)的元件配置侧(201b)的外侧壁面。第2温度测定机构(106)设置于加热器(104)的外侧周面，加热器(104)设置于收容内侧容器(201)的外侧容器(202)的外侧壁面。
- 压力传感器
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