[发明专利]微细机械装置有效
| 申请号： | 201610707781.7 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106477508B | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 石原卓也;添田将;关根正志;栃木伟伸 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千代田*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明做到可更容易地防止在各种环境下使用的、使用高绝缘性基材的微细机械装置中的粘连。本发明的微细机械装置包括电极未形成部(107a)及电极未形成部(107b)，所述电极未形成部(107a)及电极未形成部(107b)设置于在形成有凸部(104)的区域内相对的基板(101)及可动部(103)两方的表面，未形成有电极，并且，本发明的微细机械装置在电极未形成部(107a)上配备有防静电层(108)。防静电层(108)与形成有防静电层(108)那一侧的电极(105)连接。此外，防静电层(108)由表面电阻为防静电级的材料构成。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 机械 装置 | ||
【主权项】：
一种微细机械装置，其特征在于，包括：基板，其由绝缘体构成；可动部，其通过支承部支承在所述基板上，在可动区域内与所述基板隔开配置，且能够在所述可动区域内朝所述基板方向位移，所述可动部由绝缘体构成；凸部，其形成于在所述可动区域内相对的所述基板及所述可动部中的其中一方的表面；电极，其形成于在所述可动区域内相对的所述基板及所述可动部各自的表面；电极未形成部，其设置于在形成有所述凸部的区域内相对的所述基板及所述可动部中的至少一方的表面，未形成有所述电极；以及防静电层，其形成于设置于所述基板及所述可动部中的至少一方的表面上的所述电极未形成部中的至少一方，与形成有防静电层那一侧的所述电极连接，所述防静电层由表面电阻为防静电级的材料构成。
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