[发明专利]一种激光二维动态角测量传感器在审
| 申请号： | 201610705934.4 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN107764207A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 谭华竹;温焱;陈强 | 申请（专利权）人： | 北京遥感设备研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 中国航天科工集团公司专利中心11024 | 代理人： | 岳洁菱,张国虹 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光二维动态角测量传感器，包括激光器（1）、光强调节分光镜组（2）、CCD探测器（3）、PSD探测器（4）、传感器结构箱体（5）和窗口（6）。激光二维动态角测量传感器利用光学自准直原理对角度微变形进行测量。激光器（1）发射出激光束，照射到被测样品上，从被测样品上反射的激光束返回光路。当被测样品位置发生变化时，反射回传感器的光束在PSD探测器（4）上位置发生变化，传感器输出随之变化，实现非接触微变形测量的目的。本发明采用PSD探测器（4）分辨力为4μm ‑10μm，精度达到2.7,测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 二维 动态 测量 传感器 | ||
【主权项】：
一种激光二维动态角测量传感器，其特征在于包括：激光器（1）、光强调节分光镜组（2）、CCD探测器（3）、PSD探测器（4）、传感器结构箱体（5）和窗口（6）；窗口（6）为传感器结构箱体（5）一个端面上的圆形无结构遮挡的区域；在有窗口（6）的传感器结构箱体（5）的端面上，定义窗口（6）中心为零点，窗口（6）轴线方向为x轴方向，与窗口（6）轴线方向垂直的方向为y轴方向，箭头指向方向为正向；激光器（1）置于传感器结构箱体（5）底座上，位于窗口（6）轴线x轴方向偏正y轴45度方向的位置，并通过螺钉固定连接；光强调节分光镜组（2）置于传感器结构箱体（5）底座上，位于传感器结构箱体（5）窗口（6）轴线x轴方向上y=0的位置，并通过螺钉固定连接；CCD探测器（3）和PSD探测器（4）分别置于传感器结构箱体（5）底座上并通过螺钉固定连接，CCD探测器（3）位于光强调节分光镜组（2）的正x轴方向，PSD探测器（4）位于窗口（6）轴线x轴方向偏负y 轴45度方向的位置；激光器（1）、PSD探测器（4）在y轴方向上的位置关系及光强调节分光镜组（2）、CCD探测器（3）在x轴方向上的位置关系需根据光路关系进行调节后确定；测量过程中由激光器（1）发出激光，由光强调节分光镜组（2）导入处理后得到所需的平行光束，平行光束照射到被测的反射镜面上，反射镜面将入射光反射回光路，经光强调节分光镜组（2）进行光路的调节，包括：光强调节、偏振、增强、滤除杂散光；最后将光线分光成两束，一束被CCD 探测器接收，CCD探测器（3）将图像采集后输出由监视器显示出来，用于实时监控；另一束被PSD 探测器接收，用AD 采集卡将PSD 探测器的输出信号采集转换后传输给计算机，得到被测系统的偏转角度。
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